应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 磁控溅射设备
71/1返回列表
查看: 1561  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

杰杰1992

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射设备 已有2人参与

通过溅射氧化物(氧气和氩气)，以前可以达到1pa不灭辉，但是现在同等条件下，只能在4pa保持起辉状态，在溅射氮化物(氮气和氩气)，基本上都很正常，哪位大牛也遇见过这种情况，最后是怎么解决的？

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射镀膜工艺

» 猜你喜欢
1楼 2018-01-21 14:06:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Friend007

银虫 (知名作家)
楼主说的情况很常见 靶材不同 设备状态不同 甚至是季节不同 起辉压强都会有变化的 楼主不必太在意

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2018-01-22 07:26:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
杰杰1992: 金币+8, ★★★很有帮助 2018-01-31 16:27:56
4pa是蛮高，很怀疑你的阴极磁场已经退化了，如果可能你可以用高斯计测一下靶材表面磁场。
赞一下 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
3楼2018-01-22 09:45:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tnnd88

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
杰杰1992: 金币+5, ★★★很有帮助 2018-01-31 16:22:53
看来你是用金属靶制备金属氧化物，这个工艺最讨厌的地方在于金属氧化物多半具有同素异构体，在不同温度和压力范围会呈现不同的性能，有时绝缘，有时会变成半导体，正是这个半导体结构会影响机器某些部位的绝缘到造成短路。但是这个里面的东西太复杂，我也说不清具体是哪一种造成的。
赞一下 回复此楼
他奶奶的88
4楼2018-01-22 15:40:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

杰杰1992

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-01-22 09:45:50
4pa是蛮高，很怀疑你的阴极磁场已经退化了，如果可能你可以用高斯计测一下靶材表面磁场。

我试试，谢谢

发自小木虫Android客户端
回复此楼
5楼2018-01-31 16:23:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

杰杰1992

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 杰杰1992 at 2018-01-31 16:23:54
我试试，谢谢
...

通常阴极靶位的磁场强度在多少为正常值？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
6楼2018-01-31 16:24:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 杰杰1992 at 2018-01-31 09:24:55
通常阴极靶位的磁场强度在多少为正常值？
...

安装好靶，靶表面磁场水平分量正常在350~650Gs都应该算正常；如果低于300Gs就有点低了，启辉就比较难需要升高气压。
赞一下 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
7楼2018-01-31 16:40:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 杰杰1992 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 YLHlRHNwYkce 2026-09-02 10/500 2026-09-03 17:00 by T0rGB46095mJ
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 rFEsUBKXRll0 2026-09-02 6/300 2026-09-03 16:49 by T0rGB46095mJ
[找工作] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 ero8OE6tv9cu 2026-09-02 8/400 2026-09-03 16:38 by T0rGB46095mJ
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 ero8OE6tv9cu 2026-09-02 5/250 2026-09-03 16:38 by T0rGB46095mJ
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 ero8OE6tv9cu 2026-09-02 10/500 2026-09-03 16:27 by T0rGB46095mJ
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 ero8OE6tv9cu 2026-09-02 8/400 2026-09-03 14:48 by T0rGB46095mJ
[基金申请] 国社科又开始会评了，不知道这次命运如何 +10 雨打竹帘 2026-08-30 14/700 2026-09-03 13:17 by qsd10086
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 YLHlRHNwYkce 2026-09-02 8/400 2026-09-03 12:03 by T0rGB46095mJ
[基金申请] 麻烦专家们看看评委们的意见（F口面上） +8 gdd2018 2026-08-28 13/650 2026-09-03 06:22 by 羽毛枫f
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 ero8OE6tv9cu 2026-09-02 4/200 2026-09-03 03:14 by rM1TE0WVDIIY
[基金申请] 科研人应该花精力去思考如何解决问题，而不是去凝练问题 +7 瞬息宇宙 2026-09-01 14/700 2026-09-02 17:33 by ma0526
[基金申请] 基金系统什么内容也没有 30+4 winsaint 2026-08-27 10/500 2026-09-02 11:35 by 大不刘6
[基金申请] 学科评审组评审是指会评吗？ +5 瞬息宇宙 2026-08-31 5/250 2026-09-02 10:13 by 雨冰共舞
[基金申请] 面上函评意见出来了，像什么等级？ 20+4 Tsingking1 2026-08-27 17/850 2026-09-01 19:51 by 超级无敌华子
[基金申请] 面上意见出来了 +12 黄鸟于飞Chao 2026-08-29 23/1150 2026-08-31 18:57 by 黄鸟于飞Chao
[基金申请] 能否申诉？ +7 echo8914667 2026-08-30 8/400 2026-08-31 17:00 by yihongxu
[基金申请] 中青基了要发朋友圈吗？ +7 349506619 2026-08-28 7/350 2026-08-31 13:39 by 冼亮淀粉酶
[基金申请] 为什么到现在没收到通知？ +5 tannykie 2026-08-29 5/250 2026-08-30 21:05 by purplejack
[基金申请] 我就是申请一个面上项目而已，这评审意见是按照杰青的条件评的吧？ +6 gouxfjh 2026-08-28 11/550 2026-08-30 07:57 by gouxfjh
[基金申请] 国自然评审意见 +13 wangmingqi 2026-08-28 19/950 2026-08-29 10:22 by Poppy1104
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭