24小时热门版块排行榜    

查看: 1322  |  回复: 6

杰杰1992

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射设备 已有2人参与

通过溅射氧化物(氧气和氩气),以前可以达到1pa不灭辉,但是现在同等条件下,只能在4pa保持起辉状态,在溅射氮化物(氮气和氩气),基本上都很正常,哪位大牛也遇见过这种情况,最后是怎么解决的?

发自小木虫Android客户端
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Friend007

银虫 (知名作家)


楼主说的情况很常见 靶材不同 设备状态不同 甚至是季节不同 起辉压强都会有变化的 楼主不必太在意

发自小木虫Android客户端
2楼2018-01-22 07:26:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
杰杰1992: 金币+8, ★★★很有帮助 2018-01-31 16:27:56
4pa是蛮高,很怀疑你的阴极磁场已经退化了,如果可能你可以用高斯计测一下靶材表面磁场。
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
3楼2018-01-22 09:45:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tnnd88

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
杰杰1992: 金币+5, ★★★很有帮助 2018-01-31 16:22:53
看来你是用金属靶制备金属氧化物,这个工艺最讨厌的地方在于金属氧化物多半具有同素异构体,在不同温度和压力范围会呈现不同的性能,有时绝缘,有时会变成半导体,正是这个半导体结构会影响机器某些部位的绝缘到造成短路。但是这个里面的东西太复杂,我也说不清具体是哪一种造成的。
他奶奶的88
4楼2018-01-22 15:40:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

杰杰1992

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-01-22 09:45:50
4pa是蛮高,很怀疑你的阴极磁场已经退化了,如果可能你可以用高斯计测一下靶材表面磁场。

我试试,谢谢

发自小木虫Android客户端
5楼2018-01-31 16:23:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

杰杰1992

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 杰杰1992 at 2018-01-31 16:23:54
我试试,谢谢
...

通常阴极靶位的磁场强度在多少为正常值?

发自小木虫Android客户端
6楼2018-01-31 16:24:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 杰杰1992 at 2018-01-31 09:24:55
通常阴极靶位的磁场强度在多少为正常值?
...

安装好靶,靶表面磁场水平分量正常在350~650Gs都应该算正常;如果低于300Gs就有点低了,启辉就比较难需要升高气压。
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
7楼2018-01-31 16:40:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 杰杰1992 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料学硕333求调剂 +3 北道巷 2026-03-18 3/150 2026-03-21 18:17 by 学员8dgXkO
[考研] 311求调剂 +3 勇敢的小吴 2026-03-20 3/150 2026-03-21 17:40 by ColorlessPI
[考研] 306求0703调剂一志愿华中师范 +5 纸鱼ly 2026-03-21 5/250 2026-03-21 17:11 by 学员8dgXkO
[考研] 279求调剂 +5 红衣隐官 2026-03-21 5/250 2026-03-21 14:59 by lature00
[考研] 求调剂 +6 Mqqqqqq 2026-03-19 6/300 2026-03-21 08:04 by JourneyLucky
[考研] 083200学硕321分一志愿暨南大学求调剂 +3 innocenceF 2026-03-17 3/150 2026-03-21 02:35 by JourneyLucky
[考研] 一志愿西南交大,求调剂 +5 材化逐梦人 2026-03-18 5/250 2026-03-21 00:26 by JourneyLucky
[考研] 330求调剂 +4 小材化本科 2026-03-18 4/200 2026-03-20 23:13 by JourneyLucky
[考研] 一志愿武汉理工材料工程专硕调剂 +9 Doleres 2026-03-19 9/450 2026-03-20 22:36 by JourneyLucky
[考研] 329求调剂 +9 想上学吖吖 2026-03-19 9/450 2026-03-20 22:01 by luoyongfeng
[考研] 北科281学硕材料求调剂 +5 tcxiaoxx 2026-03-20 5/250 2026-03-20 21:35 by laoshidan
[考研] 一志愿 南京航空航天大学大学 ,080500材料科学与工程学硕 +5 @taotao 2026-03-20 5/250 2026-03-20 20:16 by JourneyLucky
[考研] 一志愿吉林大学材料学硕321求调剂 +11 Ymlll 2026-03-18 15/750 2026-03-20 19:40 by 丁丁*
[考研] 0854可跨调剂,一作一项核心论文五项专利,省、国级证书40+数一英一287 +8 小李0854 2026-03-16 8/400 2026-03-18 14:35 by 搏击518
[考研] 308求调剂 +4 是Lupa啊 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:12 by ruiyingmiao
[考研] 材料工程专硕274一志愿211求调剂 +6 薛云鹏 2026-03-15 6/300 2026-03-17 11:05 by 学员h26Tkc
[考研] 283求调剂 +3 听风就是雨; 2026-03-16 3/150 2026-03-17 07:41 by 热情沙漠
[考研] 304求调剂 +5 素年祭语 2026-03-15 5/250 2026-03-16 17:00 by 我的船我的海
[考研] 070300化学学硕求调剂 +6 太想进步了0608 2026-03-16 6/300 2026-03-16 16:13 by kykm678
[考研] 288求调剂 +4 奇点0314 2026-03-14 4/200 2026-03-14 23:04 by JourneyLucky
信息提示
请填处理意见