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磁控溅射设备 已有2人参与
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通过溅射氧化物(氧气和氩气)，以前可以达到1pa不灭辉，但是现在同等条件下，只能在4pa保持起辉状态，在溅射氮化物(氮气和氩气)，基本上都很正常，哪位大牛也遇见过这种情况，最后是怎么解决的？ 发自小木虫Android客户端 |
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 磁控溅射镀膜工艺 |
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