应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 磁控溅射设备
51/1返回列表
查看: 1271  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

杰杰1992

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射设备 已有2人参与

通过溅射氧化物(氧气和氩气)，以前可以达到1pa不灭辉，但是现在同等条件下，只能在4pa保持起辉状态，在溅射氮化物(氮气和氩气)，基本上都很正常，哪位大牛也遇见过这种情况，最后是怎么解决的？

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射镀膜工艺

» 猜你喜欢
1楼 2018-01-21 14:06:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

杰杰1992

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 杰杰1992 at 2018-01-31 16:23:54
我试试，谢谢
...

通常阴极靶位的磁场强度在多少为正常值？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
6楼2018-01-31 16:24:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

Friend007

银虫 (知名作家)
楼主说的情况很常见 靶材不同 设备状态不同 甚至是季节不同 起辉压强都会有变化的 楼主不必太在意

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2018-01-22 07:26:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
杰杰1992: 金币+8, ★★★很有帮助 2018-01-31 16:27:56
4pa是蛮高，很怀疑你的阴极磁场已经退化了，如果可能你可以用高斯计测一下靶材表面磁场。
赞一下 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
3楼2018-01-22 09:45:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tnnd88

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
杰杰1992: 金币+5, ★★★很有帮助 2018-01-31 16:22:53
看来你是用金属靶制备金属氧化物，这个工艺最讨厌的地方在于金属氧化物多半具有同素异构体，在不同温度和压力范围会呈现不同的性能，有时绝缘，有时会变成半导体，正是这个半导体结构会影响机器某些部位的绝缘到造成短路。但是这个里面的东西太复杂，我也说不清具体是哪一种造成的。
赞一下 回复此楼
他奶奶的88
4楼2018-01-22 15:40:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭