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yangyu1995银虫 (初入文坛)
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磁控溅射问题 已有5人参与
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用反应磁控溅射镀氧化物薄膜，一个多，两个小时之后辉光颜色会变，这是怎么回事呀？设定参数并没有变化 发自小木虫Android客户端 |
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5楼2017-11-08 08:22:23
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在磁控溅射里面存在一个现象叫靶中毒，指的是在靶材表面形成了致密氧化层。这时辉光一般是减弱，或者略微变色。表现为沉积速率降低，沉积薄膜中组元成分发生变化。 发自小木虫IOS客户端 |
6楼2017-11-08 14:00:57
snwoody
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2楼2017-11-07 23:31:42
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4楼2017-11-08 00:03:31
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7楼2017-11-08 18:47:08
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这个我就不确定了，你可以不用打磨直接再生长看看是不是还是这样，如果是就说明表面确实有东西了，靶中毒。如果没有的话说明设备哪里出了点小问题或者说实验过程中随机出现的小毛病。不管怎么样都建议把靶表面打磨一下。 发自小木虫IOS客户端 |
8楼2017-11-08 19:28:32
pvdmaterial
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