24小时热门版块排行榜

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

yangyu1995

银虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 246.8
散金: 15
帖子: 35
在线: 13.2小时
虫号: 3247297
注册: 2014-06-01
性别: GG
专业: 金属材料表面科学与工程

[交流] 磁控溅射问题已有5人参与

用反应磁控溅射镀氧化物薄膜，一个多，两个小时之后辉光颜色会变，这是怎么回事呀？设定参数并没有变化

发自小木虫Android客户端

回复此楼

» 猜你喜欢

寻求一种能扛住强氧化性腐蚀性的容器密封件已经有7人回复
到新单位后，换了新的研究方向，没有团队，持续积累2区以上论文，能申请到面上吗已经有8人回复
申请2026年博士已经有6人回复
请问哪里可以有青B申请的本子可以借鉴一下。已经有5人回复
天津工业大学郑柳春团队欢迎化学化工、高分子化学或有机合成方向的博士生和硕士生加入已经有5人回复
2025冷门绝学什么时候出结果已经有7人回复
请问有评职称，把科研教学业绩算分排序的高校吗已经有6人回复
Bioresource Technology期刊，第一次返修的时候被退回好几次了已经有7人回复
请问下大家为什么这个铃木偶联几乎不反应呢已经有5人回复
康复大学泰山学者周祺惠团队招收博士研究生已经有6人回复

1楼2017-11-07 23:00:25

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

snwoody

金虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 1545.5
散金: 313
红花: 3
帖子: 139
在线: 534小时
虫号: 665165
注册: 2008-11-30
专业: 半导体晶体与薄膜材料

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

你是反应磁控溅射吧，通入反应气体了，一般是氧气吧。沉积时间长了，靶材表面会形成氧化层，表面组分发生变化了，溅射上去的材料原子比也会发生变化，辉光因此也发生变化。第一，做反应溅射要尽可能缩短溅射时间。第二，正式溅射沉积之前或者之后，一定要洗靶（一般也叫预溅射），在不通入反应气体，只通入溅射气体氩气的情况下，充分洗靶，把表面的氧化层溅射掉，再开始正式溅射。