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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射问题
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yangyu1995

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
10楼: Originally posted by snwoody at 2017-11-09 15:28:08
你是反应磁控溅射吧，通入反应气体了，一般是氧气吧。沉积时间长了，靶材表面会形成氧化层，表面组分发生变化了，溅射上去的材料原子比也会发生变化，辉光因此也发生变化。第一，做反应溅射要尽可能缩短溅射时间。第 ...

谢谢您，不过根据后续膜厚测量，后续的辉光改变应该是变回了金属溅射模式，所以有点弄不明白了

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11楼2017-11-11 11:27:15
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