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yangyu1995银虫 (初入文坛)
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磁控溅射问题 已有5人参与
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用反应磁控溅射镀氧化物薄膜，一个多，两个小时之后辉光颜色会变，这是怎么回事呀？设定参数并没有变化 发自小木虫Android客户端 |
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在磁控溅射里面存在一个现象叫靶中毒，指的是在靶材表面形成了致密氧化层。这时辉光一般是减弱，或者略微变色。表现为沉积速率降低，沉积薄膜中组元成分发生变化。 发自小木虫IOS客户端 |
6楼2017-11-08 14:00:57
清风展望
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2楼2017-11-07 23:31:42
yangyu1995
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3楼2017-11-07 23:55:48
lywzd16
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4楼2017-11-08 00:03:31