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yangyu1995

银虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射问题已有5人参与

用反应磁控溅射镀氧化物薄膜,一个多,两个小时之后辉光颜色会变,这是怎么回事呀?设定参数并没有变化

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cj1067

新虫 (小有名气)


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引用回帖:
7楼: Originally posted by yangyu1995 at 2017-11-08 18:47:08
但是之前溅射工艺参数全部一样,没有出现这个现象
...

这个我就不确定了,你可以不用打磨直接再生长看看是不是还是这样,如果是就说明表面确实有东西了,靶中毒。如果没有的话说明设备哪里出了点小问题或者说实验过程中随机出现的小毛病。不管怎么样都建议把靶表面打磨一下。

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8楼2017-11-08 19:28:32
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清风展望

木虫 (职业作家)

时间不能太久吧,可以提高镀膜速率,快点镀完

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2楼2017-11-07 23:31:42
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yangyu1995

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 清风展望 at 2017-11-07 23:31:42
时间不能太久吧,可以提高镀膜速率,快点镀完

是因为时间太长的原因么?之前两个小时都没出现这个情况。

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3楼2017-11-07 23:55:48
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lywzd16

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
靶料就是氧化物的还是单质的?

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4楼2017-11-08 00:03:31
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