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yangyu1995

银虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射问题已有5人参与

用反应磁控溅射镀氧化物薄膜,一个多,两个小时之后辉光颜色会变,这是怎么回事呀?设定参数并没有变化

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yangyu1995

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by lywzd16 at 2017-11-08 00:03:31
靶料就是氧化物的还是单质的?

靶材是氧化物和金属的混合靶材

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5楼2017-11-08 08:22:23
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清风展望

木虫 (职业作家)

时间不能太久吧,可以提高镀膜速率,快点镀完

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2楼2017-11-07 23:31:42
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yangyu1995

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 清风展望 at 2017-11-07 23:31:42
时间不能太久吧,可以提高镀膜速率,快点镀完

是因为时间太长的原因么?之前两个小时都没出现这个情况。

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3楼2017-11-07 23:55:48
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lywzd16

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
靶料就是氧化物的还是单质的?

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4楼2017-11-08 00:03:31
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