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HM苗子新虫 (小有名气)
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[交流]
磁控溅射
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请问有用磁控溅射仪器的同学吗？我在直流溅射CrN时，功率不稳定，腔内灯光总闪烁，是什么原因？欢迎指导交流～ 发自小木虫IOS客户端 |
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 薄膜制备与特性 |
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2楼2017-03-01 16:48:53
HM苗子
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3楼2017-03-01 19:57:49
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靶材是金属Cr靶 还是CrN，另外用射频电源会好些 发自小木虫Android客户端 |
4楼2017-03-02 07:24:12
强哥哥哥
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5楼2017-03-04 22:28:46
zengbinjian
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6楼2017-03-05 12:06:55
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Cr靶材，工作气体Ar，反应气体N2，工作气压0.5Pa，谢谢您，之前把工作气压调到5Pa，表示功率的电流电压有示数但很不稳定，现在不管怎么调，电流电压示数一直为0 发自小木虫IOS客户端 |
7楼2017-03-05 14:33:53
HM苗子
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8楼2017-03-05 14:34:28
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直流电源反应溅射CrN，本来就不稳定，应该是靶中毒了，还是建议直接换射频电源。 发自小木虫Android客户端 |
9楼2017-03-05 19:20:16
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HM苗子: 金币+3, 谢谢您，我用砂纸打磨后再试试 2017-03-07 14:07:22
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表面有杂质吧，直流要求导电性好，如果表面有导电性差的，就容易不稳定 发自小木虫IOS客户端 |
10楼2017-03-07 00:25:53
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