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HM苗子

新虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射

请问有用磁控溅射仪器的同学吗？我在直流溅射CrN时，功率不稳定，腔内灯光总闪烁，是什么原因？欢迎指导交流～

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1楼 2017-03-01 13:19:07
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qin1992

新虫 (小有名气)
★ ★
HM苗子: 金币+2, 谢谢 2017-03-01 19:58:26
帮顶

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2楼2017-03-01 16:48:53
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HM苗子

新虫 (小有名气)
溅射功率不稳定怎么调，求各位大神指导

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版主，请求删帖，谢谢
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3楼2017-03-01 19:57:49
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Friend007

银虫 (知名作家)
★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
HM苗子: 金币+4, 谢谢您 2017-03-05 14:35:06
靶材是金属Cr靶 还是CrN，另外用射频电源会好些

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4楼2017-03-02 07:24:12
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
★
HM苗子: 金币+1, 谢谢参与 2017-03-05 14:37:04
同上

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5楼2017-03-04 22:28:46
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zengbinjian

铜虫 (正式写手)
★ ★
HM苗子: 金币+2, 谢谢您 2017-03-05 14:35:28
把靶重新装一下

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6楼2017-03-05 12:06:55
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HM苗子

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Friend007 at 2017-03-02 07:24:12
靶材是金属Cr靶 还是CrN，另外用射频电源会好些

Cr靶材，工作气体Ar，反应气体N2，工作气压0.5Pa，谢谢您，之前把工作气压调到5Pa，表示功率的电流电压有示数但很不稳定，现在不管怎么调，电流电压示数一直为0

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7楼2017-03-05 14:33:53
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HM苗子

新虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by zengbinjian at 2017-03-05 12:06:55
把靶重新装一下

重装了结果还一样

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8楼2017-03-05 14:34:28
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Friend007

银虫 (知名作家)
★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
HM苗子: 金币+3, 谢谢您 2017-03-06 13:07:20
引用回帖:
7楼: Originally posted by HM苗子 at 2017-03-05 14:33:53
Cr靶材，工作气体Ar，反应气体N2，工作气压0.5Pa，谢谢您，之前把工作气压调到5Pa，表示功率的电流电压有示数但很不稳定，现在不管怎么调，电流电压示数一直为0
...

直流电源反应溅射CrN，本来就不稳定，应该是靶中毒了，还是建议直接换射频电源。

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9楼2017-03-05 19:20:16
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218行云流水

新虫 (初入文坛)
★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
HM苗子: 金币+3, 谢谢您，我用砂纸打磨后再试试 2017-03-07 14:07:22
表面有杂质吧，直流要求导电性好，如果表面有导电性差的，就容易不稳定

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10楼2017-03-07 00:25:53
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