| 查看: 2073 | 回复: 10 | ||||
HM苗子新虫 (小有名气)
|
[交流]
磁控溅射
|
|
请问有用磁控溅射仪器的同学吗？我在直流溅射CrN时，功率不稳定，腔内灯光总闪烁，是什么原因？欢迎指导交流～ 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
河北省自然科学基金
已经有8人回复
-
西安交大新媒学院副院长用撤稿论文结题
已经有5人回复
-
论文撤稿了
已经有5人回复
-
某211大学教师把个人教师官方主页改成:我跑了我跑了我跑了!官宣跑路！
已经有5人回复
-
26/27申博自荐
已经有9人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急
已经有3人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急
已经有7人回复
-
揭秘青基评审内幕：几个A才能顺利中标
已经有4人回复
-
青B发送上会通知了吗
已经有7人回复
-
博士申请
已经有3人回复
qin1992
新虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 1855.2
- 散金: 100
- 红花: 6
- 帖子: 217
- 在线: 140.3小时
- 虫号: 5226042
- 注册: 2016-11-11
- 专业: 金属基复合材料
2楼2017-03-01 16:48:53
HM苗子
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1274.1
- 散金: 43
- 帖子: 54
- 在线: 18.9小时
- 虫号: 4432604
- 注册: 2016-02-24
- 专业: 工程热物理与能源利用
3楼2017-03-01 19:57:49
★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
HM苗子: 金币+4, 谢谢您 2017-03-05 14:35:06
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
HM苗子: 金币+4, 谢谢您 2017-03-05 14:35:06
|
靶材是金属Cr靶 还是CrN，另外用射频电源会好些 发自小木虫Android客户端 |
4楼2017-03-02 07:24:12
强哥哥哥
新虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 5858.8
- 散金: 25
- 红花: 19
- 帖子: 2374
- 在线: 136.3小时
- 虫号: 4127252
- 注册: 2015-10-08
- 性别: GG
- 专业: 半导体科学与信息器件
5楼2017-03-04 22:28:46
zengbinjian
铜虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2601.9
- 散金: 13
- 红花: 2
- 帖子: 337
- 在线: 136.4小时
- 虫号: 2558379
- 注册: 2013-07-22
- 性别: GG
- 专业: 新型信息器件
6楼2017-03-05 12:06:55
HM苗子
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1274.1
- 散金: 43
- 帖子: 54
- 在线: 18.9小时
- 虫号: 4432604
- 注册: 2016-02-24
- 专业: 工程热物理与能源利用
|
Cr靶材，工作气体Ar，反应气体N2，工作气压0.5Pa，谢谢您，之前把工作气压调到5Pa，表示功率的电流电压有示数但很不稳定，现在不管怎么调，电流电压示数一直为0 发自小木虫IOS客户端 |
7楼2017-03-05 14:33:53
HM苗子
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1274.1
- 散金: 43
- 帖子: 54
- 在线: 18.9小时
- 虫号: 4432604
- 注册: 2016-02-24
- 专业: 工程热物理与能源利用
8楼2017-03-05 14:34:28
★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
HM苗子: 金币+3, 谢谢您 2017-03-06 13:07:20
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
HM苗子: 金币+3, 谢谢您 2017-03-06 13:07:20
|
直流电源反应溅射CrN，本来就不稳定，应该是靶中毒了，还是建议直接换射频电源。 发自小木虫Android客户端 |
9楼2017-03-05 19:20:16
★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
HM苗子: 金币+3, 谢谢您，我用砂纸打磨后再试试 2017-03-07 14:07:22
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
HM苗子: 金币+3, 谢谢您，我用砂纸打磨后再试试 2017-03-07 14:07:22
|
表面有杂质吧，直流要求导电性好，如果表面有导电性差的，就容易不稳定 发自小木虫IOS客户端 |
10楼2017-03-07 00:25:53
10