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HM苗子

新虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射

请问有用磁控溅射仪器的同学吗?我在直流溅射CrN时,功率不稳定,腔内灯光总闪烁,是什么原因?欢迎指导交流~

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HM苗子

新虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by zengbinjian at 2017-03-05 12:06:55
把靶重新装一下

重装了结果还一样

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8楼2017-03-05 14:34:28
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qin1992

新虫 (小有名气)

★ ★
HM苗子: 金币+2, 谢谢 2017-03-01 19:58:26
2楼2017-03-01 16:48:53
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HM苗子

新虫 (小有名气)

溅射功率不稳定怎么调,求各位大神指导

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版主,请求删帖,谢谢
3楼2017-03-01 19:57:49
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Friend007

银虫 (知名作家)


★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
HM苗子: 金币+4, 谢谢您 2017-03-05 14:35:06
靶材是金属Cr靶 还是CrN,另外用射频电源会好些

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4楼2017-03-02 07:24:12
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