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HM苗子

新虫 (小有名气)

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专业: 工程热物理与能源利用

[交流] 磁控溅射

请问有用磁控溅射仪器的同学吗？我在直流溅射CrN时，功率不稳定，腔内灯光总闪烁，是什么原因？欢迎指导交流～

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1楼 2017-03-01 13:19:07

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zengbinjian

铜虫 (正式写手)

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★ ★
HM苗子: 金币+2, 谢谢您 2017-03-05 14:35:28

把靶重新装一下

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6楼2017-03-05 12:06:55

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qin1992

新虫 (小有名气)

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专业: 金属基复合材料

★ ★
HM苗子: 金币+2, 谢谢 2017-03-01 19:58:26

帮顶

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2楼2017-03-01 16:48:53

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HM苗子

新虫 (小有名气)

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在线: 18.9小时
虫号: 4432604
注册: 2016-02-24
专业: 工程热物理与能源利用

溅射功率不稳定怎么调，求各位大神指导

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版主，请求删帖，谢谢

3楼2017-03-01 19:57:49

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Friend007

银虫 (知名作家)

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专业: 机械工程

★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
HM苗子: 金币+4, 谢谢您 2017-03-05 14:35:06

靶材是金属Cr靶还是CrN，另外用射频电源会好些

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4楼2017-03-02 07:24:12

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