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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 磁控溅射
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218行云流水

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by 218行云流水 at 2017-03-07 00:25:53
表面有杂质吧，直流要求导电性好，如果表面有导电性差的，就容易不稳定

对了，除了杂质意外，应该注意调节气压，气压对直流溅射的稳定性有很大的影响。如果对溅射率没有什么大的要求，建议使用射频。

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11楼2017-03-09 20:49:04
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