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HM苗子新虫 (小有名气)
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[交流]
磁控溅射
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请问有用磁控溅射仪器的同学吗？我在直流溅射CrN时，功率不稳定，腔内灯光总闪烁，是什么原因？欢迎指导交流～ 发自小木虫IOS客户端 |
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 薄膜制备与特性 |
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HM苗子
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Cr靶材，工作气体Ar，反应气体N2，工作气压0.5Pa，谢谢您，之前把工作气压调到5Pa，表示功率的电流电压有示数但很不稳定，现在不管怎么调，电流电压示数一直为0 发自小木虫IOS客户端 |
7楼2017-03-05 14:33:53
qin1992
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2楼2017-03-01 16:48:53
HM苗子
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3楼2017-03-01 19:57:49
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HM苗子: 金币+4, 谢谢您 2017-03-05 14:35:06
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靶材是金属Cr靶 还是CrN，另外用射频电源会好些 发自小木虫Android客户端 |
4楼2017-03-02 07:24:12