| 查看: 1948 | 回复: 10 | ||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||||
HM苗子新虫 (小有名气)
|
[交流]
磁控溅射
|
|||
|
请问有用磁控溅射仪器的同学吗？我在直流溅射CrN时，功率不稳定，腔内灯光总闪烁，是什么原因？欢迎指导交流～ 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
285求调剂
已经有3人回复
-
求调剂
已经有3人回复
-
招收博士1-2人
已经有4人回复
-
08工科 320总分 求调剂
已经有7人回复
-
生物学一志愿985，分数349求调剂
已经有7人回复
-
0856材料专硕353求调剂
已经有4人回复
-
山东省面上项目限额评审
已经有4人回复
-
一志愿北京化工大学070300 学硕336求调剂
已经有5人回复
-
生物学071000 329分求调剂
已经有4人回复
-
一志愿华中科技大学071000，求调剂
已经有4人回复
HM苗子
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1274.1
- 散金: 43
- 帖子: 54
- 在线: 18.9小时
- 虫号: 4432604
- 注册: 2016-02-24
- 专业: 工程热物理与能源利用
|
Cr靶材，工作气体Ar，反应气体N2，工作气压0.5Pa，谢谢您，之前把工作气压调到5Pa，表示功率的电流电压有示数但很不稳定，现在不管怎么调，电流电压示数一直为0 发自小木虫IOS客户端 |
7楼2017-03-05 14:33:53
qin1992
新虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 1855.2
- 散金: 100
- 红花: 6
- 帖子: 217
- 在线: 140.3小时
- 虫号: 5226042
- 注册: 2016-11-11
- 专业: 金属基复合材料
2楼2017-03-01 16:48:53
HM苗子
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1274.1
- 散金: 43
- 帖子: 54
- 在线: 18.9小时
- 虫号: 4432604
- 注册: 2016-02-24
- 专业: 工程热物理与能源利用
3楼2017-03-01 19:57:49
★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
HM苗子: 金币+4, 谢谢您 2017-03-05 14:35:06
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
HM苗子: 金币+4, 谢谢您 2017-03-05 14:35:06
|
靶材是金属Cr靶 还是CrN，另外用射频电源会好些 发自小木虫Android客户端 |
4楼2017-03-02 07:24:12
40