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HM苗子新虫 (小有名气)
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[交流]
磁控溅射
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请问有用磁控溅射仪器的同学吗?我在直流溅射CrN时,功率不稳定,腔内灯光总闪烁,是什么原因?欢迎指导交流~ 发自小木虫IOS客户端 |
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
HM苗子: 金币+3, 谢谢您 2017-03-06 13:07:20
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
HM苗子: 金币+3, 谢谢您 2017-03-06 13:07:20
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直流电源反应溅射CrN,本来就不稳定,应该是靶中毒了,还是建议直接换射频电源。 发自小木虫Android客户端 |
9楼2017-03-05 19:20:16
qin1992
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2楼2017-03-01 16:48:53
HM苗子
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3楼2017-03-01 19:57:49
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
HM苗子: 金币+4, 谢谢您 2017-03-05 14:35:06
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HM苗子: 金币+4, 谢谢您 2017-03-05 14:35:06
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靶材是金属Cr靶 还是CrN,另外用射频电源会好些 发自小木虫Android客户端 |
4楼2017-03-02 07:24:12













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