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HM苗子新虫 (小有名气)
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[交流]
磁控溅射
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请问有用磁控溅射仪器的同学吗？我在直流溅射CrN时，功率不稳定，腔内灯光总闪烁，是什么原因？欢迎指导交流～ 发自小木虫IOS客户端 |
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 薄膜制备与特性 |
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HM苗子: 金币+3, 谢谢您 2017-03-06 13:07:20
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直流电源反应溅射CrN，本来就不稳定，应该是靶中毒了，还是建议直接换射频电源。 发自小木虫Android客户端 |
9楼2017-03-05 19:20:16
qin1992
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2楼2017-03-01 16:48:53
HM苗子
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3楼2017-03-01 19:57:49
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靶材是金属Cr靶 还是CrN，另外用射频电源会好些 发自小木虫Android客户端 |
4楼2017-03-02 07:24:12
