【答案】应助回帖

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

艾弗森是否稍等发的的风格的风格大概是已经有0人回复
艾弗森是否稍等发的的风格的风格大概是已经有0人回复
机械工程论文润色/翻译怎么收费? 已经有236人回复
招收2026年秋季入学博士生1名（北京科技大学力学超材料/机器学习/增材制造相关方向）已经有21人回复
请大家帮忙看下，这样的审稿状态是否凶多吉少？已经有12人回复
精准避坑：第三方涂料检测/外护管检测/油漆检测专业机构推荐，可靠认证报告哪家专业已经有0人回复
定制一体化油库/罐区/化工/工业防爆气象站源头厂家推荐,功能哪家强,参数哪家好已经有0人回复
招收26年秋季入学博士生（北科大高精尖学院力学超材料/机器学习/增材制造相关方向）已经有18人回复

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

1楼2017-02-10 07:31:39

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

机械EPI: 4
应助: 20282 (院士)
金币: 145683
红花: 1374
帖子: 93066
在线: 7693.7小时
虫号: 1482829
注册: 2011-11-08
性别: GG
专业: 功能陶瓷

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
gkk1991: 金币+5, ★有帮助 2017-02-14 21:29:20

怀疑是靶材的密度不够高，其中的气孔较多所导致。气孔多一方面会导致孔中的气体的释放导致溅射室内气压的改变，导致不起弧；另一方面，气孔多的确会导致溅射中出现较多较大的飞粒，易导致镀膜产品质量下降甚至报废。

赞一下(1人)

2楼2017-02-10 23:23:52

gkk1991

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 164
帖子: 7
在线: 1.4小时
虫号: 5529133
注册: 2017-02-02
性别: GG

引用回帖:

2楼: Originally posted by peterflyer at 2017-02-10 23:23:52
怀疑是靶材的密度不够高，其中的气孔较多所导致。气孔多一方面会导致孔中的气体的释放导致溅射室内气压的改变，导致不起弧；另一方面，气孔多的确会导致溅射中出现较多较大的飞粒，易导致镀膜产品质量下降甚至报废。

您好，此靶材的参数为AlSiCu(68.1; 5.3; 26.6wt%) , 除了密度不够高，还可能有其他原因吗？非常感谢您的回复

3楼2017-02-13 01:02:31

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

机械EPI: 4
应助: 20282 (院士)
金币: 145683
红花: 1374
帖子: 93066
在线: 7693.7小时
虫号: 1482829
注册: 2011-11-08
性别: GG
专业: 功能陶瓷

【答案】应助回帖

材料的纯度也要检验一下才好。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

4楼2017-02-13 07:28:08

molin-W

金虫 (正式写手)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 1143.9
散金: 787
帖子: 311
在线: 86.5小时
虫号: 2484208
注册: 2013-05-27
性别: GG
专业: 集成电路制造与封装

引用回帖:

3楼: Originally posted by gkk1991 at 2017-02-13 01:02:31
您好，此靶材的参数为AlSiCu(68.1; 5.3; 26.6wt%) , 除了密度不够高，还可能有其他原因吗？非常感谢您的回复...

感觉像是靶材中毒靶材纯度不够或者是腔体内气氛纯度不够既然你说别的靶没有问题那可能就是靶材本身纯度的问题了

以初学者的心态

5楼2017-02-22 21:54:48

gkk1991

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 164
帖子: 7
在线: 1.4小时
虫号: 5529133
注册: 2017-02-02
性别: GG

引用回帖:

5楼: Originally posted by molin-W at 2017-02-22 21:54:48
感觉像是靶材中毒靶材纯度不够或者是腔体内气氛纯度不够既然你说别的靶没有问题那可能就是靶材本身纯度的问题了...

您好，我对这方面不是很了解，请问会不会是因为AlSiCu本身的导电性不好的原因？亦或者是溅射开始后靶材中毒丧失导电性
能否推荐一些有关方面的文章

Arc-PVD试验还用了AgCu和AlGa对粉末材料进行镀层，两种靶材都没问题，如果AlSiCu是因为靶材中毒的话，原因会是什么呢

靶材纯度是指什么？对靶材进行成分分析，也跟靶材标识的基本一致AlSiCu比重分别为(68.1; 5.3; 26.6wt%)

6楼2017-02-23 08:36:21