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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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gkk1991

新虫 (初入文坛)

[求助] Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧 已有1人参与

Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧，靶材表面出现颗粒状物质并溅射出来, 清理靶材表面还是无法引弧，电弧出现马上就熄灭，换上其他靶材正常工作，请问是什么原因。Arc-PVD设备应该没问题，是材料本身的问题么？

Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧
IMG_20170105_102404.jpg


Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧-1
IMG_20170105_102543.jpg
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1楼 2017-02-10 07:31:39
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
gkk1991: 金币+5, ★有帮助 2017-02-14 21:29:20
怀疑是靶材的密度不够高，其中的气孔较多所导致。气孔多一方面会导致孔中的气体的释放导致溅射室内气压的改变，导致不起弧；另一方面，气孔多的确会导致溅射中出现较多较大的飞粒，易导致镀膜产品质量下降甚至报废。
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2楼2017-02-10 23:23:52
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gkk1991

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2017-02-10 23:23:52
怀疑是靶材的密度不够高，其中的气孔较多所导致。气孔多一方面会导致孔中的气体的释放导致溅射室内气压的改变，导致不起弧；另一方面，气孔多的确会导致溅射中出现较多较大的飞粒，易导致镀膜产品质量下降甚至报废。

您好，此靶材的参数为AlSiCu(68.1; 5.3; 26.6wt%) , 除了密度不够高，还可能有其他原因吗？非常感谢您的回复
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3楼2017-02-13 01:02:31
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

材料的纯度也要检验一下才好。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2017-02-13 07:28:08
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molin-W

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by gkk1991 at 2017-02-13 01:02:31
您好，此靶材的参数为AlSiCu(68.1; 5.3; 26.6wt%) , 除了密度不够高，还可能有其他原因吗？非常感谢您的回复...

感觉像是靶材中毒 靶材纯度不够或者是腔体内气氛纯度不够 既然你说别的靶没有问题 那可能就是靶材本身纯度的问题了
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以初学者的心态
5楼2017-02-22 21:54:48
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gkk1991

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by molin-W at 2017-02-22 21:54:48
感觉像是靶材中毒 靶材纯度不够或者是腔体内气氛纯度不够 既然你说别的靶没有问题 那可能就是靶材本身纯度的问题了...

您好，我对这方面不是很了解，请问会不会是因为AlSiCu本身的导电性不好的原因？亦或者是溅射开始后靶材中毒丧失导电性
能否推荐一些有关方面的文章

Arc-PVD试验还用了AgCu和AlGa对粉末材料进行镀层，两种靶材都没问题，如果AlSiCu是因为靶材中毒的话，原因会是什么呢

靶材纯度是指什么？对靶材进行成分分析，也跟靶材标识的基本一致AlSiCu比重分别为(68.1; 5.3; 26.6wt%)
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6楼2017-02-23 08:36:21
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15012743492

新虫 (初入文坛)
靶的冷却水正常吗？
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7楼2017-03-16 11:51:43
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gkk1991

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 15012743492 at 2017-03-16 11:51:43
靶的冷却水正常吗？

一切正常。。。换别的靶材如AgCu就可以工作

发自小木虫Android客户端
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8楼2017-03-23 22:21:09
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lbt_xmc

新虫 (初入文坛)
会不会是你通入的气体与靶材反应生成了一层钝化膜，导致靶中毒了呢？？
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9楼2017-07-19 10:52:37
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