应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 机械 » 机械综合 » Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧
91/1返回列表
查看: 2056  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

gkk1991

新虫 (初入文坛)

[求助] Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧 已有1人参与

Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧，靶材表面出现颗粒状物质并溅射出来, 清理靶材表面还是无法引弧，电弧出现马上就熄灭，换上其他靶材正常工作，请问是什么原因。Arc-PVD设备应该没问题，是材料本身的问题么？

Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧
IMG_20170105_102404.jpg


Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧-1
IMG_20170105_102543.jpg
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
1楼 2017-02-10 07:31:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
gkk1991: 金币+5, ★有帮助 2017-02-14 21:29:20
怀疑是靶材的密度不够高，其中的气孔较多所导致。气孔多一方面会导致孔中的气体的释放导致溅射室内气压的改变，导致不起弧；另一方面，气孔多的确会导致溅射中出现较多较大的飞粒，易导致镀膜产品质量下降甚至报废。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2017-02-10 23:23:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gkk1991

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2017-02-10 23:23:52
怀疑是靶材的密度不够高，其中的气孔较多所导致。气孔多一方面会导致孔中的气体的释放导致溅射室内气压的改变，导致不起弧；另一方面，气孔多的确会导致溅射中出现较多较大的飞粒，易导致镀膜产品质量下降甚至报废。

您好，此靶材的参数为AlSiCu(68.1; 5.3; 26.6wt%) , 除了密度不够高，还可能有其他原因吗？非常感谢您的回复
赞一下 回复此楼
3楼2017-02-13 01:02:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

材料的纯度也要检验一下才好。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
4楼2017-02-13 07:28:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

molin-W

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by gkk1991 at 2017-02-13 01:02:31
您好，此靶材的参数为AlSiCu(68.1; 5.3; 26.6wt%) , 除了密度不够高，还可能有其他原因吗？非常感谢您的回复...

感觉像是靶材中毒 靶材纯度不够或者是腔体内气氛纯度不够 既然你说别的靶没有问题 那可能就是靶材本身纯度的问题了
赞一下 回复此楼
以初学者的心态
5楼2017-02-22 21:54:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gkk1991

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by molin-W at 2017-02-22 21:54:48
感觉像是靶材中毒 靶材纯度不够或者是腔体内气氛纯度不够 既然你说别的靶没有问题 那可能就是靶材本身纯度的问题了...

您好，我对这方面不是很了解，请问会不会是因为AlSiCu本身的导电性不好的原因？亦或者是溅射开始后靶材中毒丧失导电性
能否推荐一些有关方面的文章

Arc-PVD试验还用了AgCu和AlGa对粉末材料进行镀层，两种靶材都没问题，如果AlSiCu是因为靶材中毒的话，原因会是什么呢

靶材纯度是指什么？对靶材进行成分分析，也跟靶材标识的基本一致AlSiCu比重分别为(68.1; 5.3; 26.6wt%)
赞一下 回复此楼
6楼2017-02-23 08:36:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

15012743492

新虫 (初入文坛)
靶的冷却水正常吗？
赞一下 回复此楼
7楼2017-03-16 11:51:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gkk1991

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 15012743492 at 2017-03-16 11:51:43
靶的冷却水正常吗？

一切正常。。。换别的靶材如AgCu就可以工作

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
8楼2017-03-23 22:21:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lbt_xmc

新虫 (初入文坛)
会不会是你通入的气体与靶材反应生成了一层钝化膜，导致靶中毒了呢？？
赞一下 回复此楼
9楼2017-07-19 10:52:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 gkk1991 的主题更新
91/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 1rx34o113h 2026-05-23 3/150 2026-05-24 17:41 by 0i3mu4vkjz
[基金申请] 评审有感 +16 popular289 2026-05-18 27/1350 2026-05-24 17:34 by hhs666
[教师之家] 论文撤稿了 +4 bjvtcliu 2026-05-24 7/350 2026-05-24 17:29 by bjvtcliu
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 hvkbtfonbv 2026-05-23 4/200 2026-05-24 17:21 by 75ui6h7z2t
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 hvkbtfonbv 2026-05-23 3/150 2026-05-24 17:10 by 75ui6h7z2t
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 hvkbtfonbv 2026-05-23 3/150 2026-05-24 17:01 by 75ui6h7z2t
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 a2tycdlnq1 2026-05-23 5/250 2026-05-24 16:21 by hhx1yx9evi
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 a2tycdlnq1 2026-05-23 4/200 2026-05-24 16:16 by hhx1yx9evi
[基金申请] 河北省自然科学基金 +6 Peterchao 2026-05-18 9/450 2026-05-24 16:02 by 130067131
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 pmo95bazuy 2026-05-23 8/400 2026-05-24 15:56 by 1uy1ht2y9r
[基金申请] 西安交大新媒学院副院长用撤稿论文结题 +3 bjvtcliu 2026-05-24 5/250 2026-05-24 10:16 by kudofaye
[教师之家] 某211大学教师把个人教师官方主页改成:我跑了我跑了我跑了!官宣跑路！ +4 zju2000 2026-05-21 5/250 2026-05-24 09:35 by songwz
[考博] 26/27申博自荐 10+4 ZXW0202 2026-05-22 9/450 2026-05-24 08:47 by bjvtcliu
[基金申请] 青B发送上会通知了吗 +5 chemBioBro 2026-05-22 7/350 2026-05-23 12:35 by zhuifengzhy
[考博] 博士申请 +3 焦晓明 2026-05-21 3/150 2026-05-23 11:26 by mlc840311
[论文投稿] 投稿求助，期刊 +4 希冀，有书读 2026-05-20 8/400 2026-05-22 10:16 by 希冀，有书读
[文学芳草园] 献血感触 +7 呀呀好傻 2026-05-19 13/650 2026-05-21 20:15 by 呀呀好傻
[基金申请] 提交了我也来说说感想 +9 fummck 2026-05-20 10/500 2026-05-21 14:17 by draco1987
[考博] 如果工作了想读博，可以边工作边读全日制嘛？ 30+3 铁达火车 2026-05-18 5/250 2026-05-20 09:33 by tfang
[考博] 博士申请 +5 星…… 2026-05-18 6/300 2026-05-18 23:49 by 糊糊涂涂好
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭