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gkk1991

新虫 (初入文坛)

[求助] Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧 已有1人参与

Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧,靶材表面出现颗粒状物质并溅射出来, 清理靶材表面还是无法引弧,电弧出现马上就熄灭,换上其他靶材正常工作,请问是什么原因。Arc-PVD设备应该没问题,是材料本身的问题么?

Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧
IMG_20170105_102404.jpg


Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧-1
IMG_20170105_102543.jpg
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15012743492

新虫 (初入文坛)

靶的冷却水正常吗?
7楼2017-03-16 11:51:43
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
gkk1991: 金币+5, 有帮助 2017-02-14 21:29:20
怀疑是靶材的密度不够高,其中的气孔较多所导致。气孔多一方面会导致孔中的气体的释放导致溅射室内气压的改变,导致不起弧;另一方面,气孔多的确会导致溅射中出现较多较大的飞粒,易导致镀膜产品质量下降甚至报废。
2楼2017-02-10 23:23:52
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gkk1991

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2017-02-10 23:23:52
怀疑是靶材的密度不够高,其中的气孔较多所导致。气孔多一方面会导致孔中的气体的释放导致溅射室内气压的改变,导致不起弧;另一方面,气孔多的确会导致溅射中出现较多较大的飞粒,易导致镀膜产品质量下降甚至报废。

您好,此靶材的参数为AlSiCu(68.1; 5.3; 26.6wt%) , 除了密度不够高,还可能有其他原因吗?非常感谢您的回复
3楼2017-02-13 01:02:31
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

材料的纯度也要检验一下才好。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
4楼2017-02-13 07:28:08
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