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Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧 已有1人参与
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Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧，靶材表面出现颗粒状物质并溅射出来, 清理靶材表面还是无法引弧，电弧出现马上就熄灭，换上其他靶材正常工作，请问是什么原因。Arc-PVD设备应该没问题，是材料本身的问题么？ IMG_20170105_102404.jpg  IMG_20170105_102543.jpg |
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 薄膜制备与特性 |
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4楼2017-02-13 07:28:08