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薄膜制备与特性

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1楼2017-02-10 07:31:39

peterflyer

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peterflyer

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【答案】应助回帖

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gkk1991: 金币+5, ★有帮助 2017-02-14 21:29:20

怀疑是靶材的密度不够高，其中的气孔较多所导致。气孔多一方面会导致孔中的气体的释放导致溅射室内气压的改变，导致不起弧；另一方面，气孔多的确会导致溅射中出现较多较大的飞粒，易导致镀膜产品质量下降甚至报废。

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2楼2017-02-10 23:23:52

gkk1991

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引用回帖:

2楼: Originally posted by peterflyer at 2017-02-10 23:23:52
怀疑是靶材的密度不够高，其中的气孔较多所导致。气孔多一方面会导致孔中的气体的释放导致溅射室内气压的改变，导致不起弧；另一方面，气孔多的确会导致溅射中出现较多较大的飞粒，易导致镀膜产品质量下降甚至报废。

您好，此靶材的参数为AlSiCu(68.1; 5.3; 26.6wt%) , 除了密度不够高，还可能有其他原因吗？非常感谢您的回复

3楼2017-02-13 01:02:31

peterflyer

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材料的纯度也要检验一下才好。

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4楼2017-02-13 07:28:08

molin-W

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引用回帖:

3楼: Originally posted by gkk1991 at 2017-02-13 01:02:31
您好，此靶材的参数为AlSiCu(68.1; 5.3; 26.6wt%) , 除了密度不够高，还可能有其他原因吗？非常感谢您的回复...

感觉像是靶材中毒靶材纯度不够或者是腔体内气氛纯度不够既然你说别的靶没有问题那可能就是靶材本身纯度的问题了

以初学者的心态

5楼2017-02-22 21:54:48

gkk1991

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5楼: Originally posted by molin-W at 2017-02-22 21:54:48
感觉像是靶材中毒靶材纯度不够或者是腔体内气氛纯度不够既然你说别的靶没有问题那可能就是靶材本身纯度的问题了...

您好，我对这方面不是很了解，请问会不会是因为AlSiCu本身的导电性不好的原因？亦或者是溅射开始后靶材中毒丧失导电性
能否推荐一些有关方面的文章

Arc-PVD试验还用了AgCu和AlGa对粉末材料进行镀层，两种靶材都没问题，如果AlSiCu是因为靶材中毒的话，原因会是什么呢

靶材纯度是指什么？对靶材进行成分分析，也跟靶材标识的基本一致AlSiCu比重分别为(68.1; 5.3; 26.6wt%)

6楼2017-02-23 08:36:21