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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 机械 » 机械综合 » Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧
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gkk1991

新虫 (初入文坛)

[求助] Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧已有1人参与

Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧，靶材表面出现颗粒状物质并溅射出来, 清理靶材表面还是无法引弧，电弧出现马上就熄灭，换上其他靶材正常工作，请问是什么原因。Arc-PVD设备应该没问题，是材料本身的问题么？

Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧
IMG_20170105_102404.jpg


Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧-1
IMG_20170105_102543.jpg
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1楼2017-02-10 07:31:39
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lbt_xmc

新虫 (初入文坛)
会不会是你通入的气体与靶材反应生成了一层钝化膜，导致靶中毒了呢？？
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9楼2017-07-19 10:52:37
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
gkk1991: 金币+5, ★有帮助 2017-02-14 21:29:20
怀疑是靶材的密度不够高，其中的气孔较多所导致。气孔多一方面会导致孔中的气体的释放导致溅射室内气压的改变，导致不起弧；另一方面，气孔多的确会导致溅射中出现较多较大的飞粒，易导致镀膜产品质量下降甚至报废。
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2楼2017-02-10 23:23:52
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gkk1991

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2017-02-10 23:23:52
怀疑是靶材的密度不够高，其中的气孔较多所导致。气孔多一方面会导致孔中的气体的释放导致溅射室内气压的改变，导致不起弧；另一方面，气孔多的确会导致溅射中出现较多较大的飞粒，易导致镀膜产品质量下降甚至报废。

您好，此靶材的参数为AlSiCu(68.1; 5.3; 26.6wt%) , 除了密度不够高，还可能有其他原因吗？非常感谢您的回复
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3楼2017-02-13 01:02:31
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

材料的纯度也要检验一下才好。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2017-02-13 07:28:08
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