应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 机械 » 机械综合 » Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧
51/1返回列表
查看: 2142  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

gkk1991

新虫 (初入文坛)

[求助] Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧 已有1人参与

Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧，靶材表面出现颗粒状物质并溅射出来, 清理靶材表面还是无法引弧，电弧出现马上就熄灭，换上其他靶材正常工作，请问是什么原因。Arc-PVD设备应该没问题，是材料本身的问题么？

Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧
IMG_20170105_102404.jpg


Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧-1
IMG_20170105_102543.jpg
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
1楼 2017-02-10 07:31:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gkk1991

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2017-02-10 23:23:52
怀疑是靶材的密度不够高，其中的气孔较多所导致。气孔多一方面会导致孔中的气体的释放导致溅射室内气压的改变，导致不起弧；另一方面，气孔多的确会导致溅射中出现较多较大的飞粒，易导致镀膜产品质量下降甚至报废。

您好，此靶材的参数为AlSiCu(68.1; 5.3; 26.6wt%) , 除了密度不够高，还可能有其他原因吗？非常感谢您的回复
赞一下 回复此楼
3楼2017-02-13 01:02:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
gkk1991: 金币+5, ★有帮助 2017-02-14 21:29:20
怀疑是靶材的密度不够高，其中的气孔较多所导致。气孔多一方面会导致孔中的气体的释放导致溅射室内气压的改变，导致不起弧；另一方面，气孔多的确会导致溅射中出现较多较大的飞粒，易导致镀膜产品质量下降甚至报废。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2017-02-10 23:23:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

材料的纯度也要检验一下才好。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
4楼2017-02-13 07:28:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

molin-W

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by gkk1991 at 2017-02-13 01:02:31
您好，此靶材的参数为AlSiCu(68.1; 5.3; 26.6wt%) , 除了密度不够高，还可能有其他原因吗？非常感谢您的回复...

感觉像是靶材中毒 靶材纯度不够或者是腔体内气氛纯度不够 既然你说别的靶没有问题 那可能就是靶材本身纯度的问题了
赞一下 回复此楼
以初学者的心态
5楼2017-02-22 21:54:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 奇怪，两个人的filecode固定段从头到尾一模一样 +7 布布和一二 2026-08-10 10/500 2026-08-12 09:12 by 布布和一二
[基金申请] 综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分？ +11 yufeiwaner 2026-08-09 13/650 2026-08-12 08:17 by yufeiwaner
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果？ +3 yuleib84 2026-08-11 3/150 2026-08-11 21:53 by jnhyjjm
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[硕博家园] 读博的好处 +3 lnee 2026-08-11 3/150 2026-08-11 18:10 by 希望我好好的
[基金申请] 分享一下我之前已中青C的计划书的filecode +3 布布和一二 2026-08-11 4/200 2026-08-11 15:20 by aasahr
[基金申请] filecode +9 documentary 2026-08-10 9/450 2026-08-11 10:08 by wk7465
[基金申请] 基金中了 +15 laoda193707 2026-08-06 15/750 2026-08-11 00:11 by jiafei2190
[基金申请] 关于Filecode分析方法 +3 majunge000 2026-08-10 3/150 2026-08-10 15:46 by lch2012
[基金申请] 这样的filecode谁见过 +11 布布和一二 2026-08-08 22/1100 2026-08-10 11:10 by wmfsnow
[基金申请] 面上项目filecode邪修 +5 西山十月 2026-08-09 7/350 2026-08-10 07:32 by 仁砚薪传
[基金申请] filecode与中标关系的预测 +5 布布和一二 2026-08-07 5/250 2026-08-09 16:15 by 袁向阳007
[基金申请] 关于filecode，很负责任的告诉大家 +6 爱看书的可乐 2026-08-08 7/350 2026-08-08 22:13 by a_niu
[基金申请] 关于豆爷回答的JTJC与%2F数量 +5 yang182083 2026-08-06 7/350 2026-08-08 18:29 by zhanghaozhu
[基金申请] 国基金的申报应该改成非等额制，评价高的钱多评价低的钱少，但是增加资助率 +7 a089 2026-08-07 7/350 2026-08-08 18:05 by gltch
[基金申请] 关于filecode +4 布布和一二 2026-08-07 7/350 2026-08-07 22:55 by zhanghaozhu
[基金申请] 化学口download_prp&fileCode的固定段好像这几天一直没变，有变的大神么？ +3 Tide man 2026-08-07 4/200 2026-08-07 22:39 by Tide man
[基金申请] 大家散了吧，后缀研究没有意义，别浪费时间了，过好目前的每一天，不要焦虑 +5 Tide man 2026-08-06 7/350 2026-08-07 13:11 by 医学老男孩
[基金申请] 影响面上的因素 +8 布布和一二 2026-08-05 11/550 2026-08-06 10:41 by 宝贝虫子
[基金申请] 好消息？这个有何含义？？？ +8 Tide man 2026-08-05 10/500 2026-08-05 16:14 by xmuxiaoyu
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭