应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 机械 » 机械综合 » Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧
51/1返回列表
查看: 2138  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

gkk1991

新虫 (初入文坛)

[求助] Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧 已有1人参与

Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧，靶材表面出现颗粒状物质并溅射出来, 清理靶材表面还是无法引弧，电弧出现马上就熄灭，换上其他靶材正常工作，请问是什么原因。Arc-PVD设备应该没问题，是材料本身的问题么？

Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧
IMG_20170105_102404.jpg


Arc-PVD试验靶材AlSiCu无法引弧-1
IMG_20170105_102543.jpg
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
1楼 2017-02-10 07:31:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gkk1991

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2017-02-10 23:23:52
怀疑是靶材的密度不够高，其中的气孔较多所导致。气孔多一方面会导致孔中的气体的释放导致溅射室内气压的改变，导致不起弧；另一方面，气孔多的确会导致溅射中出现较多较大的飞粒，易导致镀膜产品质量下降甚至报废。

您好，此靶材的参数为AlSiCu(68.1; 5.3; 26.6wt%) , 除了密度不够高，还可能有其他原因吗？非常感谢您的回复
赞一下 回复此楼
3楼2017-02-13 01:02:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
gkk1991: 金币+5, ★有帮助 2017-02-14 21:29:20
怀疑是靶材的密度不够高，其中的气孔较多所导致。气孔多一方面会导致孔中的气体的释放导致溅射室内气压的改变，导致不起弧；另一方面，气孔多的确会导致溅射中出现较多较大的飞粒，易导致镀膜产品质量下降甚至报废。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2017-02-10 23:23:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

材料的纯度也要检验一下才好。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
4楼2017-02-13 07:28:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

molin-W

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by gkk1991 at 2017-02-13 01:02:31
您好，此靶材的参数为AlSiCu(68.1; 5.3; 26.6wt%) , 除了密度不够高，还可能有其他原因吗？非常感谢您的回复...

感觉像是靶材中毒 靶材纯度不够或者是腔体内气氛纯度不够 既然你说别的靶没有问题 那可能就是靶材本身纯度的问题了
赞一下 回复此楼
以初学者的心态
5楼2017-02-22 21:54:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[教师之家] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 GpvwGNVshCOp 2026-08-10 7/350 2026-08-11 19:39 by thgx1vqMqrLw
[硕博家园] 读博的好处 +3 lnee 2026-08-11 3/150 2026-08-11 18:10 by 希望我好好的
[基金申请] 什么时候出结果，有咨询渠道？？？ +3 Tide man 2026-08-11 3/150 2026-08-11 17:54 by kudofaye
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 yPv6ndDtiRxQ 2026-08-11 3/150 2026-08-11 17:15 by CLKTSgjM0Uqj
[基金申请] 奇怪，两个人的filecode固定段从头到尾一模一样 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-11 16:57 by Ai19911123
[基金申请] FileCode能看出啥？ +7 要乐观耀哥 2026-08-10 17/850 2026-08-11 10:50 by 要乐观耀哥
[基金申请] filecode +9 documentary 2026-08-10 9/450 2026-08-11 10:08 by wk7465
[基金申请] 我的国基提前知道中了，可是同事的操作让我实在接受不了，怎么会有这样的人 +8 家与远方 2026-08-10 13/650 2026-08-11 09:49 by 家与远方
[基金申请] 基金中了 +15 laoda193707 2026-08-06 15/750 2026-08-11 00:11 by jiafei2190
[基金申请] 确定了，国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 关于Filecode分析方法 +3 majunge000 2026-08-10 3/150 2026-08-10 15:46 by lch2012
[基金申请] 国自然结果 +4 Vierhys 2026-08-10 8/400 2026-08-10 15:06 by Vierhys
[基金申请] 好奇怪的filecode +4 布布和一二 2026-08-08 5/250 2026-08-10 14:20 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +9 布布和一二 2026-08-08 9/450 2026-08-10 11:22 by xxxx2020
[基金申请] 这样的filecode谁见过 +11 布布和一二 2026-08-08 22/1100 2026-08-10 11:10 by wmfsnow
[基金申请] filecode与中标关系的预测 +5 布布和一二 2026-08-07 5/250 2026-08-09 16:15 by 袁向阳007
[基金申请] 固定端突然变了，今天 +6 archvillain 2026-08-06 10/500 2026-08-07 16:03 by 医学老男孩
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
[基金申请] 大家散了吧，后缀研究没有意义，别浪费时间了，过好目前的每一天，不要焦虑 +5 Tide man 2026-08-06 7/350 2026-08-07 13:11 by 医学老男孩
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭