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hainanshifan新虫 (小有名气)
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Si wafer上做欧姆接触 已有4人参与
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求教大神们，我想在p型Si做欧姆接触，一开始我采用的是镀Al膜的方法，先做了一块掩膜，只留出几个电极的位置，然后镀了膜，之后进行退火处理，测IV，退火的测出来是线性的，没退火非线性，是否可以说明是欧姆接触？还有能不能采用光刻的方法来做？谢谢啦 发自小木虫Android客户端 |
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 SPR表面等离子体共振 |
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【答案】应助回帖
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硅片上甩光刻胶，然后烘胶、光刻、显影做光刻胶掩模，镀Al膜，去除光刻胶剩下的就是Al电极，最后测量IV曲线。 |
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5楼2016-12-15 21:56:01
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送红花一朵 |
非常感谢前辈的解答，昨天我用光刻的方法试了一下，步骤基本和你说的相同，我用的是AR系列的光刻胶，显影出来后拿去镀了Al膜，然后放在丙酮里想把除了电极之外的光刻胶剥离，这样敷在光刻胶上的Al膜自然就掉了，只留下电极图案上的Al，但是我发现光刻胶在丙酮里去不掉，加上超声清洗也是一样。求教前辈你用的是哪种光刻胶，然后在什么溶液里做的剥离，需要什么条件吗？再次感谢！ 发自小木虫Android客户端 |
6楼2016-12-16 00:47:06
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