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exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by hainanshifan at 2016-12-16 00:49:40
我想是不是因为镀Al过程中温度使光刻胶变性,所以导致去不掉了,,
...

也不一定是因为变性,确定下镀膜时温度多少,还有镀膜厚度是多少。丙酮里去胶多长时间去不掉?
11楼2016-12-16 13:01:46
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hainanshifan

新虫 (小有名气)

引用回帖:
10楼: Originally posted by exciting73 at 2016-12-16 13:00:27
镀膜厚度是多少?镀膜时温度会升高到多少?一般光刻胶图案做成倒梯形就会容易剥离,推荐lift-off工艺用负胶比如NR9-3000PY或ma-N 1420等,具体要根据镀膜厚度及分辨率决定。我一会站内发信息给你。
AR系列的是正胶 ...

对的,AR是正胶,掩膜的圆形是明场,所以曝光后圆电极的地方光刻胶显影掉了,胶厚大概几百纳米,然后镀的膜,镀膜温度应该三四百度差不多,Al膜有接近1um,丙酮里面大概泡了20分钟吧。

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12楼2016-12-16 13:19:02
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hainanshifan

新虫 (小有名气)

引用回帖:
12楼: Originally posted by hainanshifan at 2016-12-16 13:19:02
对的,AR是正胶,掩膜的圆形是明场,所以曝光后圆电极的地方光刻胶显影掉了,胶厚大概几百纳米,然后镀的膜,镀膜温度应该三四百度差不多,Al膜有接近1um,丙酮里面大概泡了20分钟吧。
...

因为要做欧姆接触,所以想的是做成圆形的或者方格型的。

发自小木虫Android客户端
13楼2016-12-16 13:20:26
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简语micky

新虫 (著名写手)

楼主做的这个退火前后的电流能差多少,在一个量级吗?

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14楼2016-12-16 16:38:28
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大河之上

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这个在集成电路工业里是最基本的,几十年的成熟工艺了,为啥还要研究

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
15楼2016-12-16 18:24:21
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exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
12楼: Originally posted by hainanshifan at 2016-12-16 13:19:02
对的,AR是正胶,掩膜的圆形是明场,所以曝光后圆电极的地方光刻胶显影掉了,胶厚大概几百纳米,然后镀的膜,镀膜温度应该三四百度差不多,Al膜有接近1um,丙酮里面大概泡了20分钟吧。
...

如果镀膜时温度那么高,胶估计变性了。正胶耐受不了那么高的温度。需要用耐高温的lift-off负胶。可站内联系。
16楼2016-12-16 21:17:23
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hainanshifan

新虫 (小有名气)

引用回帖:
14楼: Originally posted by 简语micky at 2016-12-16 16:38:28
楼主做的这个退火前后的电流能差多少,在一个量级吗?

电流差多少是什么意思?不退火的话测出来不是线性的IV,,,

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17楼2016-12-16 22:23:46
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hainanshifan

新虫 (小有名气)

引用回帖:
15楼: Originally posted by 大河之上 at 2016-12-16 18:24:21
这个在集成电路工业里是最基本的,几十年的成熟工艺了,为啥还要研究

确实,,做这个硅的欧姆接触其实是为了以后的样品测试做准备,学习一下,熟悉方法。

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18楼2016-12-16 22:27:33
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hainanshifan

新虫 (小有名气)

引用回帖:
16楼: Originally posted by exciting73 at 2016-12-16 21:17:23
如果镀膜时温度那么高,胶估计变性了。正胶耐受不了那么高的温度。需要用耐高温的lift-off负胶。可站内联系。...

有道理,,谢谢!

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19楼2016-12-16 22:29:20
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简语micky

新虫 (著名写手)

引用回帖:
17楼: Originally posted by hainanshifan at 2016-12-16 22:23:46
电流差多少是什么意思?不退火的话测出来不是线性的IV,,,
...

就是电流的数值,如果不线性的话也会有电流值

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20楼2016-12-17 00:04:42
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