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hainanshifan新虫 (小有名气)
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[求助]
Si wafer上做欧姆接触 已有4人参与
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求教大神们，我想在p型Si做欧姆接触，一开始我采用的是镀Al膜的方法，先做了一块掩膜，只留出几个电极的位置，然后镀了膜，之后进行退火处理，测IV，退火的测出来是线性的，没退火非线性，是否可以说明是欧姆接触？还有能不能采用光刻的方法来做？谢谢啦 发自小木虫Android客户端 |
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 SPR表面等离子体共振 |
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【答案】应助回帖
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硅片上甩光刻胶，然后烘胶、光刻、显影做光刻胶掩模，镀Al膜，去除光刻胶剩下的就是Al电极，最后测量IV曲线。 |
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hainanshifan5楼2016-12-15 21:56:01
