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hainanshifan新虫 (小有名气)
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[求助]
Si wafer上做欧姆接触 已有4人参与
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求教大神们,我想在p型Si做欧姆接触,一开始我采用的是镀Al膜的方法,先做了一块掩膜,只留出几个电极的位置,然后镀了膜,之后进行退火处理,测IV,退火的测出来是线性的,没退火非线性,是否可以说明是欧姆接触?还有能不能采用光刻的方法来做?谢谢啦 发自小木虫Android客户端 |
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9楼2016-12-16 08:51:58
kangye_1989
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4楼2016-12-15 21:42:16













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