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hainanshifan

新虫 (小有名气)

[求助] Si wafer上做欧姆接触 已有4人参与

求教大神们,我想在p型Si做欧姆接触,一开始我采用的是镀Al膜的方法,先做了一块掩膜,只留出几个电极的位置,然后镀了膜,之后进行退火处理,测IV,退火的测出来是线性的,没退火非线性,是否可以说明是欧姆接触?还有能不能采用光刻的方法来做?谢谢啦

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highpy

木虫 (知名作家)

光刻胶厚些,金属薄些,小于1/3

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9楼2016-12-16 08:51:58
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查看全部 21 个回答

kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
线性的就应该是欧姆接触了
2楼2016-12-14 17:01:04
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exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可以用光刻,也是做好掩模,镀Al膜,剥离,测IV
3楼2016-12-15 20:56:26
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hainanshifan

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by exciting73 at 2016-12-15 20:56:26
可以用光刻,也是做好掩模,镀Al膜,剥离,测IV

谢谢,可以说具体点吗,非常感谢!

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4楼2016-12-15 21:42:16
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