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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 请问SEM测试的结果该如何解释？？？
汕头大学海洋科学接受调剂
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guotao019

新虫 (著名写手)

[求助] 请问SEM测试的结果该如何解释？？？ 已有1人参与

求大神指点！！！
如图：材料本身是SiC上磁控溅射的金属，一共三层，第一层是Ti(100nm, 熔点1668℃)，第二层是TaSi2(300nm,熔点2200℃),最顶层是Pt(200nm,熔点1768℃)。
磁控溅射完后表面SEM照片如“as-deposited.png”所示，看起来比较平整。
经过1000℃/3min的退火后表面情况如“annealed.png”所示，表面呈微米级的交错的棍棒状，还有纳米级的金属颗粒。受限于设备分辨率，照片不够清晰。
想问退火后的表面形成的原因，最好能推荐几篇类似的论文做理论支撑。
谢谢！

请问SEM测试的结果该如何解释？？？
annealed.png


请问SEM测试的结果该如何解释？？？-1
as-deposited.png@comma@wacky1980
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1楼 2016-06-29 17:29:19
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qkd_wsr

木虫 (初入文坛)
二次电子像主要用作形貌分析，对表面形貌敏感，背散射电子像主观察不同成分的的分布，它对原子序数敏感。如果我没记错的。

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4楼2016-07-02 07:49:56
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qkd_wsr

木虫 (初入文坛)
学术不精，不懂
只是有个疑问，二次电子像和背散射电子像放一块比较真的合适吗？
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2楼2016-07-01 17:34:41
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guotao019

新虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by qkd_wsr at 2016-07-01 17:34:41
学术不精，不懂
只是有个疑问，二次电子像和背散射电子像放一块比较真的合适吗？

谢谢提醒，这二者成像有什么区别吗？

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3楼2016-07-01 17:58:49
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qkd_wsr

木虫 (初入文坛)
建议再做一个相同倍率的二次电子像。另外图片模糊不是分辨率的事，是没对好焦。

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5楼2016-07-02 07:52:47
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核jiw

新虫 (正式写手)
基本概念都不知道的话只能说明自己前期工作做得太少了

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6楼2016-07-02 08:18:48
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guotao019

新虫 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 核jiw at 2016-07-02 08:18:48
基本概念都不知道的话只能说明自己前期工作做得太少了

谢谢提醒

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7楼2016-07-02 14:21:16
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guotao019

新虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by qkd_wsr at 2016-07-02 07:49:56
二次电子像主要用作形貌分析，对表面形貌敏感，背散射电子像主观察不同成分的的分布，它对原子序数敏感。如果我没记错的。

多谢大神

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8楼2016-07-02 14:21:48
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小偷爸爸

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
8楼: Originally posted by guotao019 at 2016-07-02 14:21:48
多谢大神
...

你的照片不清楚呀！建议实验重做，都用se和bse模式，我感觉像是氧化了，重新做吧

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9楼2016-08-03 00:58:26
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hope_2011

新虫 (正式写手)
成像原理如四楼所说，同一区域即使用BSE和SEI获得照片应该大致一样，BSE衬度明显，所以你这个应该是热处理过程中有氧化或者反应生成了新得组织！可以扫下XRD和EDX之类的

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10楼2016-08-03 05:30:34
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