| 查看: 1369 | 回复: 11 | ||||
| 本帖产生 1 个 博学EPI ，点击这里进行查看 | ||||
[求助]
溅射WO3时的问题
|
||||
| 我们的溅射腔里周围有三个靶，分布成三角，放样品的托盘在中心，我用的是钨靶，最近溅射WO3，溅射一段时间后，对着靶下面的基板上有很深的蓝色，放样品的托盘的四周也有很深的蓝色，但是托盘中心（样品所在处）是很淡的粉色。靶被拆卸重装过几次，之前溅射时没有这种情况，我觉得是溅射粒子沉积的区域不在托盘中心，或者是通的气体流量太大。请问有人知道是什么原因吗？ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急
已经有3人回复
-
售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急
已经有3人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急
已经有3人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急
已经有4人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急
已经有3人回复
-
售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急
已经有3人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急
已经有3人回复
-
售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有3人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急
已经有3人回复
-
售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急
已经有3人回复
璞伟
木虫 (正式写手)
打酱油
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3474.4
- 散金: 2109
- 红花: 4
- 帖子: 354
- 在线: 71.6小时
- 虫号: 1790366
- 注册: 2012-05-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
2楼2016-06-03 15:31:32
璞伟
木虫 (正式写手)
打酱油
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3474.4
- 散金: 2109
- 红花: 4
- 帖子: 354
- 在线: 71.6小时
- 虫号: 1790366
- 注册: 2012-05-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
3楼2016-06-03 15:32:20
4楼2016-06-03 15:43:53
5楼2016-06-03 15:46:15
璞伟
木虫 (正式写手)
打酱油
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3474.4
- 散金: 2109
- 红花: 4
- 帖子: 354
- 在线: 71.6小时
- 虫号: 1790366
- 注册: 2012-05-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
6楼2016-06-04 00:20:16
qfw_68
版主 (文坛精英)
有尾巴的青蛙
- 博学EPI: 2910
- 应助: 120 (高中生)
- 贵宾: 0.414
- 金币: 85760.1
- 散金: 3020
- 红花: 212
- 沙发: 7687
- 帖子: 39495
- 在线: 4852.7小时
- 虫号: 797958
- 注册: 2009-06-24
- 性别: GG
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
- 管辖: 有奖问答
7楼2016-06-05 18:39:57
8楼2016-06-07 14:58:43
9楼2016-06-07 15:03:00
qfw_68
版主 (文坛精英)
有尾巴的青蛙
- 博学EPI: 2910
- 应助: 120 (高中生)
- 贵宾: 0.414
- 金币: 85760.1
- 散金: 3020
- 红花: 212
- 沙发: 7687
- 帖子: 39495
- 在线: 4852.7小时
- 虫号: 797958
- 注册: 2009-06-24
- 性别: GG
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
- 管辖: 有奖问答
10楼2016-06-07 16:33:29
