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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 网络生活区 » 有奖问答 » 学术帮助 » 溅射WO3时的问题
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子溪清水

新虫 (初入文坛)

[求助] 溅射WO3时的问题

我们的溅射腔里周围有三个靶，分布成三角，放样品的托盘在中心，我用的是钨靶，最近溅射WO3，溅射一段时间后，对着靶下面的基板上有很深的蓝色，放样品的托盘的四周也有很深的蓝色，但是托盘中心（样品所在处）是很淡的粉色。靶被拆卸重装过几次，之前溅射时没有这种情况，我觉得是溅射粒子沉积的区域不在托盘中心，或者是通的气体流量太大。请问有人知道是什么原因吗？
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1楼 2016-06-03 15:13:56
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
子溪清水: 金币+5, 博学EPI+1 2016-06-14 20:01:41
引用回帖:
9楼: Originally posted by 子溪清水 at 2016-06-07 15:03:00
恩恩，是厚度不一样，但为什么会出现这种情况呢？...

这与靶材对衬底的取向，气流的均匀性，样品台温度等的均匀性有关。
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没有困难创造困难也要上网。
10楼2016-06-07 16:33:29
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璞伟

木虫 (正式写手)

打酱油
靶在上方是吧，样品托盘可以转动么？

发自小木虫IOS客户端
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没有什么不可以
2楼2016-06-03 15:31:32
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璞伟

木虫 (正式写手)

打酱油
靶的方向可以调整么？

发自小木虫IOS客户端
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没有什么不可以
3楼2016-06-03 15:32:20
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子溪清水

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 璞伟 at 2016-06-03 15:31:32
靶在上方是吧，样品托盘可以转动么？

托盘可以转动
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4楼2016-06-03 15:43:53
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