| 查看: 1139 | 回复: 11 | |||
| 本帖产生 1 个 博学EPI ，点击这里进行查看 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
溅射WO3时的问题
|
|||
| 我们的溅射腔里周围有三个靶，分布成三角，放样品的托盘在中心，我用的是钨靶，最近溅射WO3，溅射一段时间后，对着靶下面的基板上有很深的蓝色，放样品的托盘的四周也有很深的蓝色，但是托盘中心（样品所在处）是很淡的粉色。靶被拆卸重装过几次，之前溅射时没有这种情况，我觉得是溅射粒子沉积的区域不在托盘中心，或者是通的气体流量太大。请问有人知道是什么原因吗？ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
272分材料子求调剂
已经有47人回复
-
085404 293求调剂
已经有9人回复
-
一志愿新疆大学085401，314分
已经有4人回复
-
材料与化工300求调剂
已经有43人回复
-
290求调剂
已经有6人回复
-
求调剂，一志愿材料科学与工程985，365分，
已经有9人回复
-
山东高校教师考核超级无底线，员工过不下去啦
已经有9人回复
-
085410 273求调剂
已经有9人回复
-
297求调剂
已经有16人回复
-
291求调剂
已经有11人回复
4楼2016-06-03 15:43:53
璞伟
木虫 (正式写手)
打酱油
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3476.4
- 散金: 2109
- 红花: 4
- 帖子: 352
- 在线: 70.8小时
- 虫号: 1790366
- 注册: 2012-05-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
2楼2016-06-03 15:31:32
璞伟
木虫 (正式写手)
打酱油
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3476.4
- 散金: 2109
- 红花: 4
- 帖子: 352
- 在线: 70.8小时
- 虫号: 1790366
- 注册: 2012-05-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
3楼2016-06-03 15:32:20
5楼2016-06-03 15:46:15
