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溅射WO3时的问题
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| 我们的溅射腔里周围有三个靶,分布成三角,放样品的托盘在中心,我用的是钨靶,最近溅射WO3,溅射一段时间后,对着靶下面的基板上有很深的蓝色,放样品的托盘的四周也有很深的蓝色,但是托盘中心(样品所在处)是很淡的粉色。靶被拆卸重装过几次,之前溅射时没有这种情况,我觉得是溅射粒子沉积的区域不在托盘中心,或者是通的气体流量太大。请问有人知道是什么原因吗? |
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5楼2016-06-03 15:46:15
璞伟
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2楼2016-06-03 15:31:32
璞伟
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3楼2016-06-03 15:32:20
4楼2016-06-03 15:43:53














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