| 查看: 1086 | 回复: 11 | |||
| 本帖产生 1 个 博学EPI ，点击这里进行查看 | |||
[求助]
溅射WO3时的问题
|
|||
| 我们的溅射腔里周围有三个靶，分布成三角，放样品的托盘在中心，我用的是钨靶，最近溅射WO3，溅射一段时间后，对着靶下面的基板上有很深的蓝色，放样品的托盘的四周也有很深的蓝色，但是托盘中心（样品所在处）是很淡的粉色。靶被拆卸重装过几次，之前溅射时没有这种情况，我觉得是溅射粒子沉积的区域不在托盘中心，或者是通的气体流量太大。请问有人知道是什么原因吗？ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
329求调剂
已经有3人回复
-
一志愿吉林大学材料学硕321求调剂
已经有11人回复
-
一志愿苏州大学材料求调剂，总分315（英一）
已经有3人回复
-
0703化学调剂
已经有14人回复
-
320求调剂0856
已经有3人回复
-
307求调剂
已经有9人回复
-
288求调剂
已经有15人回复
-
085700资源与环境308求调剂
已经有5人回复
-
294求调剂材料与化工专硕
已经有14人回复
-
0817 化学工程 299分求调剂 有科研经历 有二区文章
已经有18人回复
qfw_68
版主 (文坛精英)
有尾巴的青蛙
- 博学EPI: 2910
- 应助: 120 (高中生)
- 贵宾: 0.414
- 金币: 85720.6
- 散金: 3020
- 红花: 212
- 沙发: 7684
- 帖子: 39484
- 在线: 4852.6小时
- 虫号: 797958
- 注册: 2009-06-24
- 性别: GG
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
- 管辖: 有奖问答
10楼2016-06-07 16:33:29
璞伟
木虫 (正式写手)
打酱油
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3476.4
- 散金: 2109
- 红花: 4
- 帖子: 352
- 在线: 70.8小时
- 虫号: 1790366
- 注册: 2012-05-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
2楼2016-06-03 15:31:32
璞伟
木虫 (正式写手)
打酱油
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3476.4
- 散金: 2109
- 红花: 4
- 帖子: 352
- 在线: 70.8小时
- 虫号: 1790366
- 注册: 2012-05-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
3楼2016-06-03 15:32:20
4楼2016-06-03 15:43:53
5楼2016-06-03 15:46:15
璞伟
木虫 (正式写手)
打酱油
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3476.4
- 散金: 2109
- 红花: 4
- 帖子: 352
- 在线: 70.8小时
- 虫号: 1790366
- 注册: 2012-05-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
6楼2016-06-04 00:20:16
qfw_68
版主 (文坛精英)
有尾巴的青蛙
- 博学EPI: 2910
- 应助: 120 (高中生)
- 贵宾: 0.414
- 金币: 85720.6
- 散金: 3020
- 红花: 212
- 沙发: 7684
- 帖子: 39484
- 在线: 4852.6小时
- 虫号: 797958
- 注册: 2009-06-24
- 性别: GG
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
- 管辖: 有奖问答
7楼2016-06-05 18:39:57
8楼2016-06-07 14:58:43
9楼2016-06-07 15:03:00
50