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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 网络生活区 » 有奖问答 » 学术帮助 » 溅射WO3时的问题
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子溪清水

新虫 (初入文坛)

[求助] 溅射WO3时的问题

我们的溅射腔里周围有三个靶，分布成三角，放样品的托盘在中心，我用的是钨靶，最近溅射WO3，溅射一段时间后，对着靶下面的基板上有很深的蓝色，放样品的托盘的四周也有很深的蓝色，但是托盘中心（样品所在处）是很淡的粉色。靶被拆卸重装过几次，之前溅射时没有这种情况，我觉得是溅射粒子沉积的区域不在托盘中心，或者是通的气体流量太大。请问有人知道是什么原因吗？
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薄膜制备与特性

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1楼 2016-06-03 15:13:56
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回帖置顶 ( 共有1个 )

qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
子溪清水: 金币+5, 博学EPI+1 2016-06-14 20:01:41
引用回帖:
9楼: Originally posted by 子溪清水 at 2016-06-07 15:03:00
恩恩，是厚度不一样，但为什么会出现这种情况呢？...

这与靶材对衬底的取向，气流的均匀性，样品台温度等的均匀性有关。
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没有困难创造困难也要上网。
10楼2016-06-07 16:33:29
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普通回帖

璞伟

木虫 (正式写手)

打酱油
靶在上方是吧，样品托盘可以转动么？

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没有什么不可以
2楼2016-06-03 15:31:32
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璞伟

木虫 (正式写手)

打酱油
靶的方向可以调整么？

发自小木虫IOS客户端
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没有什么不可以
3楼2016-06-03 15:32:20
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子溪清水

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 璞伟 at 2016-06-03 15:31:32
靶在上方是吧，样品托盘可以转动么？

托盘可以转动
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4楼2016-06-03 15:43:53
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子溪清水

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 璞伟 at 2016-06-03 15:32:20
靶的方向可以调整么？

不可以，是固定的
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5楼2016-06-03 15:46:15
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璞伟

木虫 (正式写手)

打酱油
你在各个区域多放几个片子，试一下，没换靶材之前是什么样子的呢

发自小木虫IOS客户端
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没有什么不可以
6楼2016-06-04 00:20:16
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
明显是溅射的膜厚不一样了。膜的颜色是光的干涉造成的。与膜厚d和折射率n有关。n与组分有关。

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没有困难创造困难也要上网。
7楼2016-06-05 18:39:57
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子溪清水

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 璞伟 at 2016-06-04 00:20:16
你在各个区域多放几个片子，试一下，没换靶材之前是什么样子的呢

又试了一下，托盘周围的深蓝色消失了，但是靶下方的基板上还是有蓝色，靶材没有换，只是拆卸下来，又装上去了。
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8楼2016-06-07 14:58:43
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子溪清水

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by qfw_68 at 2016-06-05 18:39:57
明显是溅射的膜厚不一样了。膜的颜色是光的干涉造成的。与膜厚d和折射率n有关。n与组分有关。

恩恩，是厚度不一样，但为什么会出现这种情况呢？
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9楼2016-06-07 15:03:00
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