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[求助]
溅射WO3时的问题
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我们的溅射腔里周围有三个靶，分布成三角，放样品的托盘在中心，我用的是钨靶，最近溅射WO3，溅射一段时间后，对着靶下面的基板上有很深的蓝色，放样品的托盘的四周也有很深的蓝色，但是托盘中心（样品所在处）是很淡的粉色。靶被拆卸重装过几次，之前溅射时没有这种情况，我觉得是溅射粒子沉积的区域不在托盘中心，或者是通的气体流量太大。请问有人知道是什么原因吗？ |
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