| 查看: 1080 | 回复: 11 | |||
| 本帖产生 1 个 博学EPI ，点击这里进行查看 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
溅射WO3时的问题
|
|||
| 我们的溅射腔里周围有三个靶，分布成三角，放样品的托盘在中心，我用的是钨靶，最近溅射WO3，溅射一段时间后，对着靶下面的基板上有很深的蓝色，放样品的托盘的四周也有很深的蓝色，但是托盘中心（样品所在处）是很淡的粉色。靶被拆卸重装过几次，之前溅射时没有这种情况，我觉得是溅射粒子沉积的区域不在托盘中心，或者是通的气体流量太大。请问有人知道是什么原因吗？ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
免疫学博士有名额，速联系
已经有9人回复
-
退学或坚持读
已经有13人回复
-
国家基金申请书模板内插入图片不可调整大小?
已经有8人回复
-
多组分精馏求助
已经有6人回复
-
国家级人才课题组招收2026年入学博士
已经有6人回复
-
交叉科学部支持青年基金，对三无青椒是个机会吗？
已经有7人回复
-
青椒八年已不青，大家都被折磨成啥样了？
已经有15人回复
9楼2016-06-07 15:03:00
璞伟
木虫 (正式写手)
打酱油
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3476.4
- 散金: 2109
- 红花: 4
- 帖子: 352
- 在线: 70.7小时
- 虫号: 1790366
- 注册: 2012-05-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
2楼2016-06-03 15:31:32
璞伟
木虫 (正式写手)
打酱油
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3476.4
- 散金: 2109
- 红花: 4
- 帖子: 352
- 在线: 70.7小时
- 虫号: 1790366
- 注册: 2012-05-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
3楼2016-06-03 15:32:20
4楼2016-06-03 15:43:53