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huyongneng

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[求助] 旋涂后,固化之后薄膜出现龟裂的现象已有3人参与

如题所示,同一份溶液,有些时候旋涂固化功能正常,有些时候就会出现龟裂(湿膜无论厚薄都有这种情况),请问对于这种情况应该怎么解释,还有应该怎么处理?
PS:溶液特点,使用的溶液是易挥发的(沸点:80度左右),基材是玻璃,固化温度是150度。
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南京的李工

禁言 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
huyongneng: 金币+5, 有帮助 2016-04-18 08:32:35
溶液换成不易挥发的
2楼2016-04-15 11:38:47
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
huyongneng: 金币+30, ★★★很有帮助 2016-04-18 08:34:00
采用阶梯升温的方式,缓慢的烘烤。你可能需要一块有这个功能的热板
3楼2016-04-15 12:07:40
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banmaxiaohui

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2016-04-15 12:07:40
采用阶梯升温的方式,缓慢的烘烤。你可能需要一块有这个功能的热板

按你说的是不是可以这样设计,热台上放一块导热介质,然后再放上基片

发自小木虫IOS客户端
自强不息
4楼2016-04-17 18:32:07
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杨建军205

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
huyongneng: 金币+5, 有帮助 2016-04-18 08:32:59
1.固化温度有点高了。固化温度比溶液沸点稍高即可。
2.固化时间不要太快。
5楼2016-04-17 19:29:50
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huyongneng

捐助贵宾 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 杨建军205 at 2016-04-17 19:29:50
1.固化温度有点高了。固化温度比溶液沸点稍高即可。
2.固化时间不要太快。

固化温度是要烧结溶质的,这个温度不能太低的。固化时间也有5分钟,不算短的。
6楼2016-04-18 08:31:47
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huyongneng

捐助贵宾 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2016-04-15 12:07:40
采用阶梯升温的方式,缓慢的烘烤。你可能需要一块有这个功能的热板

那出现龟裂的原因是因为湿膜干燥得太快而出现的?那如果没有那种缓慢升温的设备,那采用两步固化的话,预固化温度多少比较好?
7楼2016-04-18 08:43:32
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huyongneng

捐助贵宾 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 南京的李工 at 2016-04-15 11:38:47
溶液换成不易挥发的

那根据固化温度150度的话,溶剂的沸点为多少比较合适?
8楼2016-04-18 08:45:43
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huyongneng

捐助贵宾 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 南京的李工 at 2016-04-15 11:38:47
溶液换成不易挥发的

选用了高沸点的溶剂,反而出现龟裂的现象更明显。这样的话,是不是溶质的问题?还是旋涂工艺的问题?
9楼2016-04-18 10:36:40
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
4楼: Originally posted by banmaxiaohui at 2016-04-17 18:32:07
按你说的是不是可以这样设计,热台上放一块导热介质,然后再放上基片
...

不建议这样使用,因为没办法控制,换一种材料或者溶剂,后难道要换一种介质?
所以还是用专用设备比较好。
10楼2016-04-21 14:07:01
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