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huyongneng

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[求助] 旋涂后,固化之后薄膜出现龟裂的现象已有3人参与

如题所示,同一份溶液,有些时候旋涂固化功能正常,有些时候就会出现龟裂(湿膜无论厚薄都有这种情况),请问对于这种情况应该怎么解释,还有应该怎么处理?
PS:溶液特点,使用的溶液是易挥发的(沸点:80度左右),基材是玻璃,固化温度是150度。
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yswyx

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【答案】应助回帖

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huyongneng: 金币+30, ★★★很有帮助 2016-04-18 08:34:00
采用阶梯升温的方式,缓慢的烘烤。你可能需要一块有这个功能的热板
3楼2016-04-15 12:07:40
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
4楼: Originally posted by banmaxiaohui at 2016-04-17 18:32:07
按你说的是不是可以这样设计,热台上放一块导热介质,然后再放上基片
...

不建议这样使用,因为没办法控制,换一种材料或者溶剂,后难道要换一种介质?
所以还是用专用设备比较好。
10楼2016-04-21 14:07:01
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