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旋涂后,固化之后薄膜出现龟裂的现象 已有3人参与
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如题所示,同一份溶液,有些时候旋涂固化功能正常,有些时候就会出现龟裂(湿膜无论厚薄都有这种情况),请问对于这种情况应该怎么解释,还有应该怎么处理? PS:溶液特点,使用的溶液是易挥发的(沸点:80度左右),基材是玻璃,固化温度是150度。 |
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