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旋涂后,固化之后薄膜出现龟裂的现象
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huyongneng
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旋涂后,固化之后薄膜出现龟裂的现象
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如题所示,同一份溶液,有些时候旋涂固化功能正常,有些时候就会出现龟裂(湿膜无论厚薄都有这种情况),请问对于这种情况应该怎么解释,还有应该怎么处理?
PS:溶液特点,使用的溶液是易挥发的(沸点:80度左右),基材是玻璃,固化温度是150度。
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1楼
2016-04-15 10:04:52
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huyongneng
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专业: 半导体材料
引用回帖:
5楼
:
Originally posted by
杨建军205
at 2016-04-17 19:29:50
1.固化温度有点高了。固化温度比溶液沸点稍高即可。
2.固化时间不要太快。
固化温度是要烧结溶质的,这个温度不能太低的。固化时间也有5分钟,不算短的。
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6楼
2016-04-18 08:31:47
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huyongneng: 金币+5,
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有帮助
2016-04-18 08:32:35
溶液换成不易挥发的
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2楼
2016-04-15 11:38:47
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yswyx
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专业: 半导体微纳机电器件与系统
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huyongneng: 金币+30,
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很有帮助
2016-04-18 08:34:00
采用阶梯升温的方式,缓慢的烘烤。你可能需要一块有这个功能的热板
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3楼
2016-04-15 12:07:40
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banmaxiaohui
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3楼
:
Originally posted by
yswyx
at 2016-04-15 12:07:40
采用阶梯升温的方式,缓慢的烘烤。你可能需要一块有这个功能的热板
按你说的是不是可以这样设计,热台上放一块导热介质,然后再放上基片
发自小木虫IOS客户端
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自强不息
4楼
2016-04-17 18:32:07
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