应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 溅射氧化铬的薄膜，XRD测试是非晶，好难过，请问怎么使得溅射上去的直接是晶体。
182/2返回列表上一页12
查看: 1767  |  回复: 17
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

chennn

木虫 (小有名气)
氧气氛下退个火就行了

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
11楼2016-04-11 19:22:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

芝麻大迪

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
11楼: Originally posted by chennn at 2016-04-11 19:22:12
氧气氛下退个火就行了

好，我明天试试，其他条件不变吗？
赞一下 回复此楼
12楼2016-04-11 20:13:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

杨建军205

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
10楼: Originally posted by 芝麻大迪 at 2016-04-11 18:37:18
是纯Cr金属靶，利用反应溅射。基底温度提上去了，今天测出来还是非晶。。。。。不知道怎么办了。...

小伙子，1.首先功率太小了，一般情况下，功率不上百，溅射速率会很小，很长时间沉积的薄膜也很薄，所以XRD根本测不出来，非晶很正常，很大可能性就是没有膜，而XRD显示的是玻璃基体的衍射谱线，当然是非晶了。不信你可以不用玻璃做基体，而改用铁或者硅基片，我想你做出来的XRD会显示出很好的基体的谱线。
2.所以现在不是结晶的问题，也不是温度的问题，而是沉积速率的问题。你首先得确定一定厚度的膜层沉积上去了，才能做XRD。
3.要有膜沉积上去，一个是提高溅射功率，一个是延长沉积时间，可能同时还得控制真空度，降低氧气的流量，否则靶材表面都氧化了，从金属态溅射模式转变为非金属态转变模式了，溅射速率会呈现指数量级的下降，25分钟，几十瓦会有膜沉积上去才怪了。
4.要观察辉光的颜色，用最小的氧气量，才会得到最快的溅射速率，但是氧气少了可能就不是氧化铬了，而是金属铬，这个平衡点得找到。
所以，加大功率，延长时间，降低氧气流量，调节真空度，首先保证有一定厚度的膜。然后再提高温度改善结晶度，看能否得到晶粒尺寸较大的薄膜，才会有XRD衍射峰。
赞一下 回复此楼
13楼2016-04-11 21:24:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

芝麻大迪

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
13楼: Originally posted by 杨建军205 at 2016-04-11 21:24:17
小伙子，1.首先功率太小了，一般情况下，功率不上百，溅射速率会很小，很长时间沉积的薄膜也很薄，所以XRD根本测不出来，非晶很正常，很大可能性就是没有膜，而XRD显示的是玻璃基体的衍射谱线，当然是非晶了。不信 ...

haha谢谢这位热心肠的大哥哥，我是女生，看了你的回复对我帮助很大，我现在只有一个疑虑，就是不知道那个Cr靶材表面有没有被氧化……前天在玻璃基底上做了两个，条件是25w1h500°C氩氧比20：4和20：6，看样子功率确实太小，博一的师哥曾经做过氧化亚铜，最佳功率是七点几瓦，然后我看过其他的文献，上面的功率最大也是60w，Cr那一族元素的氧化物做RF的居多，也不知道RF除了功率之外的各项条件对于DC来说适不适用。。。
赞一下 回复此楼
14楼2016-04-11 21:47:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

whut_cxb

铁杆木虫 (著名写手)
退火试试

发自小木虫Android客户端
回复此楼
15楼2016-04-11 22:01:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

芝麻大迪

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
15楼: Originally posted by whut_cxb at 2016-04-11 22:01:11
退火试试

原位退火？还是把已经溅射完成的样品直接拿去退火呢？
赞一下 回复此楼
16楼2016-04-11 22:03:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

whut_cxb

铁杆木虫 (著名写手)
我们以前做其他氧化物陶瓷膜的时候，也是这种现象，再放到炉子退火就可以了，不是原位

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
17楼2016-04-12 09:28:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

学渣求上进

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

我觉地你应该先把功率加大，个人认为功率对薄膜的结晶性影响比较大。我用金属Y靶，也是直流溅射。测完发现功率在80W时都没有结晶，到90W才开始有一点衍射峰，你可以试试
赞一下 回复此楼
18楼2016-04-19 16:41:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 芝麻大迪 的主题更新
182/2返回列表上一页12
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 086003调剂求助 +15 苏弋万 2026-04-09 16/800 2026-04-09 16:19 by zhuimr
[考研] 材料复试求调剂 +5 xhhdjdjsjks 2026-04-09 5/250 2026-04-09 16:11 by wp06
[考研] 一志愿华中农微生物，288分，三年实验经历 +5 代fish 2026-04-09 5/250 2026-04-09 16:10 by zhuimr
[考研] 349学科化学045106求调剂，化学类都可以 +8 保好懂懂 2026-04-08 8/400 2026-04-09 14:03 by xulei3024
[考研] 0702物理学学硕299求调剂 +5 祁柒连 2026-04-06 5/250 2026-04-09 09:27 by wj165256
[考研] 293调剂 +21 yj1221 2026-04-08 22/1100 2026-04-09 08:34 by 5268321
[考研] 土木水利专硕276分求调剂 +6 我想上学！！6 2026-04-05 9/450 2026-04-08 17:45 by 宋小宝HQ
[考研] 一志愿南昌大学，085600，344分求调剂 +11 调剂上岸玘 2026-04-05 12/600 2026-04-08 16:17 by luoyongfeng
[考研] 材料专硕(0856) 339分求调剂 +16 哈哈哈鹅哈哈哈 2026-04-05 16/800 2026-04-08 16:02 by luoyongfeng
[考研] 275求调剂 +4 1624447980 2026-04-08 5/250 2026-04-08 15:29 by 哦哦123
[考研] 26自然地理学303分求调剂 +4 一战成硕啊啊啊� 2026-04-06 9/450 2026-04-06 20:35 by lin-da
[考研] 材料调剂 +5 小刘同学吖吖 2026-04-06 5/250 2026-04-06 18:34 by sherry_1901
[考研] 22408 331分求调剂 +4 y__1 2026-04-06 4/200 2026-04-06 17:26 by 土木硕士招生
[考研] 复试调剂 +5 asdasdassda 2026-04-05 5/250 2026-04-06 09:32 by dongzh2009
[考研] 考研调剂 +5 美丽的youth_ 2026-04-04 6/300 2026-04-06 06:57 by houyaoxu
[考研] 考研调剂 +3 mcbbc 2026-04-04 3/150 2026-04-05 10:03 by barlinike
[考研] 材料化工306分找合适调剂 +14 沧海轻舟e 2026-04-04 14/700 2026-04-05 09:53 by 朱云虎202
[考研] 22408，264求调剂 +3 ywh729 2026-04-03 4/200 2026-04-04 11:04 by ywh729
[考研] 化工求调剂 +11 荔香芝士椰奶 2026-04-03 11/550 2026-04-03 22:06 by 啵啵啵0119
[考研] 330求调剂 +3 白神呜呼呼 2026-04-02 3/150 2026-04-03 10:15 by 蓝云思雨
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭