应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 溅射氧化铬的薄膜，XRD测试是非晶，好难过，请问怎么使得溅射上去的直接是晶体。
52/1返回列表
查看: 2182  |  回复: 17
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

芝麻大迪

新虫 (初入文坛)

[求助] 溅射氧化铬的薄膜，XRD测试是非晶，好难过，请问怎么使得溅射上去的直接是晶体。 已有4人参与

最近做磁控，我用的是直流。条件：功率25w，氩氧比9：1 ，9：3 ，9：4 ，9：6  溅射时间是二十分钟，基底温度是三百度。在玻璃基底溅射的，昨天测XRD全部显示为非晶，查阅关于氧化铬薄膜的相关文献，发现做RF的比较多，RF的各项条件对于DF不适应吧我想，所以我现在也很愁，不知道条件怎么改，我才十九岁，各位哥哥姐姐学到的知识比我丰富太多，希望大家帮帮我。呜呜呜
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2016-04-09 09:52:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

芝麻大迪

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
15楼: Originally posted by whut_cxb at 2016-04-11 22:01:11
退火试试

原位退火？还是把已经溅射完成的样品直接拿去退火呢？
赞一下 回复此楼
16楼2016-04-11 22:03:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 18 个回答

qlihustmsti

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
温度再改一下
确认一下你的薄膜厚度，可能很薄同时结晶很差，都检测不出XRD峰
还有貌似功率有点小，改成100W左右吧
赞一下 回复此楼
交流一下
3楼2016-04-09 16:52:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

芝麻大迪

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by qlihustmsti at 2016-04-09 16:52:49
温度再改一下
确认一下你的薄膜厚度，可能很薄同时结晶很差，都检测不出XRD峰
还有貌似功率有点小，改成100W左右吧

嗯呐，今天把基底温度提升到500°C了，功率后期会调大，做完不同氩氧比的样品后我再测测XRD。谢谢你啦。
赞一下 回复此楼
4楼2016-04-09 21:39:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

芝麻大迪

新虫 (初入文坛)
不要沉，怎么又沉了
赞一下 回复此楼
5楼2016-04-10 08:01:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 18 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭