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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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我是益虫

管理员

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！

[求助] 求助大家，SEM观察薄膜断面，怎么得到比较平整的断面呢 已有6人参与

想用SEM观察多层薄膜断面看一下厚度，但是切开之后，看到薄膜损坏较严重，怎么能得到平整的断面呢？前面的是文献里面别人的断面图，后面是我自己制备的样品

求助大家，SEM观察薄膜断面，怎么得到比较平整的断面呢
断面.png


求助大家，SEM观察薄膜断面，怎么得到比较平整的断面呢-1
自断面.png
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薄膜制备与特性

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1楼 2016-03-30 09:42:20
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

王龙权

实习版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
话说，你得基体材料是什么啊，不见得所有材料在液氮里都能脆断啊，如果是镀膜一类的工艺，建议镀膜时考虑放一个硅片一期镀膜，然后可以轻松掰断，液氮里貌似更好掰断，可以清晰的观察，我曾经做过12层膜，就是这么干的

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21楼2016-03-31 12:36:26
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onion113

主管区长

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
激光切割，企业很多薄膜都需要切面不能有毛刺，皱褶之类的，都会选择激光切割。就不知道你那边有没有这个条件了
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3楼2016-03-30 11:35:20
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liuwenningbo

超级版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
低温用专业的切片机，不过这种切片机很贵，一个样大概20块，还要有经验的给切，自己切容易切废，还会吧人家的机器弄坏！

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4楼2016-03-30 11:50:59
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972881312

主管区长

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
我是益虫: 金币+5, ★★★很有帮助 2016-03-30 19:32:23
切的时候一刀下，力度把握好，自己多试几次就能切好

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8楼2016-03-30 18:33:43
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穿越千年

禁虫

寂寞读书的小和尚
引用回帖:
14楼: Originally posted by 我是益虫 at 2016-03-30 19:31:23
是楼上说的那种离子减薄仪吗？...

不是的，聚焦离子束，具体介绍请百度
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热电材料，相变材料，阻变材料，APT，EBSD
17楼2016-03-30 21:46:43
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王龙权

实习版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
求助大家，SEM观察薄膜断面，怎么得到比较平整的断面呢-2

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24楼2016-03-31 12:57:07
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普通回帖

jhwang1228

管理员

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
低温脆断！

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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

我是益虫
2楼2016-03-30 11:01:08
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jinqiu-123

兑换贵宾

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
如果只是观察薄膜厚度的话可以通过磨金相把它磨平吧，上次我自己也是用砂纸磨平的

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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

我是益虫
5楼2016-03-30 12:54:43
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469961116

主管区长

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
IM4000离子研磨仪

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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

我是益虫
加油
6楼2016-03-30 14:29:57
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穿越千年

禁虫

寂寞读书的小和尚

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
Focused Ion Beam 也是一个不错的选择，或许用起来不那么容易，仅提供一个方案。利用FIB你想看哪个方向都可以。
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热电材料，相变材料，阻变材料，APT，EBSD
7楼2016-03-30 15:44:00
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我是益虫

超级版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by jhwang1228 at 2016-03-30 11:01:08
低温脆断！

你是指用液氮吗？那还是需要切割一下吧？
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9楼2016-03-30 19:25:16
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我是益虫

兑换贵宾

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
引用回帖:
3楼: Originally posted by onion113 at 2016-03-30 11:35:20
激光切割，企业很多薄膜都需要切面不能有毛刺，皱褶之类的，都会选择激光切割。就不知道你那边有没有这个条件了

我们这有激光器，但是不知道你说的激光切割是哪种？
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10楼2016-03-30 19:26:35
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