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我是益虫

金虫 (正式写手)

[求助] 求助大家,SEM观察薄膜断面,怎么得到比较平整的断面呢 已有6人参与

想用SEM观察多层薄膜断面看一下厚度,但是切开之后,看到薄膜损坏较严重,怎么能得到平整的断面呢?前面的是文献里面别人的断面图,后面是我自己制备的样品

求助大家,SEM观察薄膜断面,怎么得到比较平整的断面呢
断面.png


求助大家,SEM观察薄膜断面,怎么得到比较平整的断面呢-1
自断面.png
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王龙权

木虫 (著名写手)

话说,你得基体材料是什么啊,不见得所有材料在液氮里都能脆断啊,如果是镀膜一类的工艺,建议镀膜时考虑放一个硅片一期镀膜,然后可以轻松掰断,液氮里貌似更好掰断,可以清晰的观察,我曾经做过12层膜,就是这么干的

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21楼2016-03-31 12:36:26
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onion113

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
激光切割,企业很多薄膜都需要切面不能有毛刺,皱褶之类的,都会选择激光切割。就不知道你那边有没有这个条件了
3楼2016-03-30 11:35:20
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liuwenningbo

金虫 (小有名气)

低温用专业的切片机,不过这种切片机很贵,一个样大概20块,还要有经验的给切,自己切容易切废,还会吧人家的机器弄坏!

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4楼2016-03-30 11:50:59
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972881312

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
我是益虫: 金币+5, ★★★很有帮助 2016-03-30 19:32:23
切的时候一刀下,力度把握好,自己多试几次就能切好

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8楼2016-03-30 18:33:43
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穿越千年

版主 (著名写手)

寂寞读书的小和尚

优秀版主优秀版主优秀版主优秀版主

引用回帖:
14楼: Originally posted by 我是益虫 at 2016-03-30 19:31:23
是楼上说的那种离子减薄仪吗?...

不是的,聚焦离子束,具体介绍请百度
热电材料,相变材料,阻变材料,APT,EBSD
17楼2016-03-30 21:46:43
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王龙权

木虫 (著名写手)

24楼2016-03-31 12:57:07
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普通回帖

jhwang1228

木虫 (正式写手)

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2016-03-30 11:01:08
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jinqiu-123

新虫 (初入文坛)

如果只是观察薄膜厚度的话可以通过磨金相把它磨平吧,上次我自己也是用砂纸磨平的

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» 本帖已获得的红花(最新10朵)

5楼2016-03-30 12:54:43
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469961116

木虫 (正式写手)

IM4000离子研磨仪

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» 本帖已获得的红花(最新10朵)

加油
6楼2016-03-30 14:29:57
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穿越千年

版主 (著名写手)

寂寞读书的小和尚

优秀版主优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
Focused Ion Beam 也是一个不错的选择,或许用起来不那么容易,仅提供一个方案。利用FIB你想看哪个方向都可以。
热电材料,相变材料,阻变材料,APT,EBSD
7楼2016-03-30 15:44:00
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我是益虫

金虫 (正式写手)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by jhwang1228 at 2016-03-30 11:01:08
低温脆断!

你是指用液氮吗?那还是需要切割一下吧?
9楼2016-03-30 19:25:16
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我是益虫

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by onion113 at 2016-03-30 11:35:20
激光切割,企业很多薄膜都需要切面不能有毛刺,皱褶之类的,都会选择激光切割。就不知道你那边有没有这个条件了

我们这有激光器,但是不知道你说的激光切割是哪种?
10楼2016-03-30 19:26:35
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