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我是益虫

金虫 (正式写手)

[求助] 求助大家,SEM观察薄膜断面,怎么得到比较平整的断面呢 已有6人参与

想用SEM观察多层薄膜断面看一下厚度,但是切开之后,看到薄膜损坏较严重,怎么能得到平整的断面呢?前面的是文献里面别人的断面图,后面是我自己制备的样品

求助大家,SEM观察薄膜断面,怎么得到比较平整的断面呢
断面.png


求助大家,SEM观察薄膜断面,怎么得到比较平整的断面呢-1
自断面.png
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王龙权

木虫 (著名写手)

话说,你得基体材料是什么啊,不见得所有材料在液氮里都能脆断啊,如果是镀膜一类的工艺,建议镀膜时考虑放一个硅片一期镀膜,然后可以轻松掰断,液氮里貌似更好掰断,可以清晰的观察,我曾经做过12层膜,就是这么干的

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21楼2016-03-31 12:36:26
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jhwang1228

木虫 (正式写手)

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2016-03-30 11:01:08
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onion113

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
激光切割,企业很多薄膜都需要切面不能有毛刺,皱褶之类的,都会选择激光切割。就不知道你那边有没有这个条件了
3楼2016-03-30 11:35:20
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liuwenningbo

金虫 (小有名气)

低温用专业的切片机,不过这种切片机很贵,一个样大概20块,还要有经验的给切,自己切容易切废,还会吧人家的机器弄坏!

发自小木虫Android客户端
4楼2016-03-30 11:50:59
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