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我是益虫金虫 (正式写手)
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求助大家，SEM观察薄膜断面，怎么得到比较平整的断面呢 已有6人参与
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想用SEM观察多层薄膜断面看一下厚度，但是切开之后，看到薄膜损坏较严重，怎么能得到平整的断面呢？前面的是文献里面别人的断面图，后面是我自己制备的样品 断面.png  自断面.png |
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王龙权
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话说，你得基体材料是什么啊，不见得所有材料在液氮里都能脆断啊，如果是镀膜一类的工艺，建议镀膜时考虑放一个硅片一期镀膜，然后可以轻松掰断，液氮里貌似更好掰断，可以清晰的观察，我曾经做过12层膜，就是这么干的 发自小木虫Android客户端 |
21楼2016-03-31 12:36:26
jhwang1228
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我是益虫2楼2016-03-30 11:01:08
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3楼2016-03-30 11:35:20
liuwenningbo
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