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我是益虫

金虫 (正式写手)

[求助] 求助大家,SEM观察薄膜断面,怎么得到比较平整的断面呢 已有6人参与

想用SEM观察多层薄膜断面看一下厚度,但是切开之后,看到薄膜损坏较严重,怎么能得到平整的断面呢?前面的是文献里面别人的断面图,后面是我自己制备的样品

求助大家,SEM观察薄膜断面,怎么得到比较平整的断面呢
断面.png


求助大家,SEM观察薄膜断面,怎么得到比较平整的断面呢-1
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2楼: Originally posted by jhwang1228 at 2016-03-30 11:01:08
低温脆断!

你是指用液氮吗?那还是需要切割一下吧?
9楼2016-03-30 19:25:16
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3楼: Originally posted by onion113 at 2016-03-30 11:35:20
激光切割,企业很多薄膜都需要切面不能有毛刺,皱褶之类的,都会选择激光切割。就不知道你那边有没有这个条件了

我们这有激光器,但是不知道你说的激光切割是哪种?
10楼2016-03-30 19:26:35
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4楼: Originally posted by liuwenningbo at 2016-03-30 11:50:59
低温用专业的切片机,不过这种切片机很贵,一个样大概20块,还要有经验的给切,自己切容易切废,还会吧人家的机器弄坏!

是类似于离子减薄仪那种仪器么?
11楼2016-03-30 19:27:11
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5楼: Originally posted by jinqiu-123 at 2016-03-30 12:54:43
如果只是观察薄膜厚度的话可以通过磨金相把它磨平吧,上次我自己也是用砂纸磨平的

会不会磨坏了?我是切一刀,然后掰开,观察断面就明显看到很多地方薄膜直接被拉破了,你是怎么切的呢?
12楼2016-03-30 19:29:26
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6楼: Originally posted by 469961116 at 2016-03-30 14:29:57
IM4000离子研磨仪

可以直接制成看断面所需的样吗?
13楼2016-03-30 19:30:17
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7楼: Originally posted by 穿越千年 at 2016-03-30 15:44:00
Focused Ion Beam 也是一个不错的选择,或许用起来不那么容易,仅提供一个方案。利用FIB你想看哪个方向都可以。

是楼上说的那种离子减薄仪吗?
14楼2016-03-30 19:31:23
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8楼: Originally posted by 972881312 at 2016-03-30 18:33:43
切的时候一刀下,力度把握好,自己多试几次就能切好

一刀下?我是在玻璃上面镀的有机膜,这样一刀解决的话,会不会压坏了?
15楼2016-03-30 19:32:12
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17楼: Originally posted by 穿越千年 at 2016-03-30 21:46:43
不是的,聚焦离子束,具体介绍请百度...

好,我去看一下,谢谢
18楼2016-03-31 09:03:17
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19楼: Originally posted by 972881312 at 2016-03-31 12:21:59
你可以找个废样品或者直接在玻璃上试切一下,不要压的太狠,一般没问题的
...

那看效果还是得上电镜去看一看吧

发自小木虫Android客户端
20楼2016-03-31 12:31:10
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