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求助大家,SEM观察薄膜断面,怎么得到比较平整的断面呢
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我是益虫
金虫
(正式写手)
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(幼儿园)
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红花: 1
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在线: 272.4小时
虫号: 2640002
注册: 2013-09-06
性别: GG
专业: 半导体材料
[
求助
]
求助大家,SEM观察薄膜断面,怎么得到比较平整的断面呢
已有6人参与
想用SEM观察多层薄膜断面看一下厚度,但是切开之后,看到薄膜损坏较严重,怎么能得到平整的断面呢?前面的是文献里面别人的断面图,后面是我自己制备的样品
断面.png
自断面.png
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1楼
2016-03-30 09:42:20
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onion113
铁杆木虫
(正式写手)
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红花: 8
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在线: 151.6小时
虫号: 1474549
注册: 2011-11-03
性别: GG
专业: 有机高分子功能材料
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
激光切割,企业很多薄膜都需要切面不能有毛刺,皱褶之类的,都会选择激光切割。就不知道你那边有没有这个条件了
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3楼
2016-03-30 11:35:20
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jhwang1228
木虫
(正式写手)
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(幼儿园)
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在线: 189.8小时
虫号: 1192701
注册: 2011-01-19
专业: 凝聚态物性 II :电子结构
低温脆断!
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我是益虫
2楼
2016-03-30 11:01:08
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liuwenningbo
金虫
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帖子: 193
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虫号: 3072815
注册: 2014-03-20
性别: GG
专业: 高分子科学
低温用专业的切片机,不过这种切片机很贵,一个样大概20块,还要有经验的给切,自己切容易切废,还会吧人家的机器弄坏!
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4楼
2016-03-30 11:50:59
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jinqiu-123
新虫
(初入文坛)
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虫号: 2974783
注册: 2014-02-18
专业: 金属材料表面科学与工程
如果只是观察薄膜厚度的话可以通过磨金相把它磨平吧,上次我自己也是用砂纸磨平的
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我是益虫
5楼
2016-03-30 12:54:43
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