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我是益虫

金虫 (正式写手)

[求助] 求助大家,SEM观察薄膜断面,怎么得到比较平整的断面呢 已有6人参与

想用SEM观察多层薄膜断面看一下厚度,但是切开之后,看到薄膜损坏较严重,怎么能得到平整的断面呢?前面的是文献里面别人的断面图,后面是我自己制备的样品

求助大家,SEM观察薄膜断面,怎么得到比较平整的断面呢
断面.png


求助大家,SEM观察薄膜断面,怎么得到比较平整的断面呢-1
自断面.png
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我是益虫

金虫 (正式写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 穿越千年 at 2016-03-30 15:44:00
Focused Ion Beam 也是一个不错的选择,或许用起来不那么容易,仅提供一个方案。利用FIB你想看哪个方向都可以。

是楼上说的那种离子减薄仪吗?
14楼2016-03-30 19:31:23
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jhwang1228

木虫 (正式写手)

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2016-03-30 11:01:08
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onion113

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
激光切割,企业很多薄膜都需要切面不能有毛刺,皱褶之类的,都会选择激光切割。就不知道你那边有没有这个条件了
3楼2016-03-30 11:35:20
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liuwenningbo

金虫 (小有名气)

低温用专业的切片机,不过这种切片机很贵,一个样大概20块,还要有经验的给切,自己切容易切废,还会吧人家的机器弄坏!

发自小木虫Android客户端
4楼2016-03-30 11:50:59
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