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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 求助大家，SEM观察薄膜断面，怎么得到比较平整的断面呢
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王龙权

木虫 (著名写手)
话说，你得基体材料是什么啊，不见得所有材料在液氮里都能脆断啊，如果是镀膜一类的工艺，建议镀膜时考虑放一个硅片一期镀膜，然后可以轻松掰断，液氮里貌似更好掰断，可以清晰的观察，我曾经做过12层膜，就是这么干的

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21楼2016-03-31 12:36:26
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cha1234

铜虫 (正式写手)
做z

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22楼2016-03-31 12:46:32
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cha1234

铜虫 (正式写手)
做DPA，然后SEM

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尽力就好
23楼2016-03-31 12:47:14
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王龙权

木虫 (著名写手)
求助大家，SEM观察薄膜断面，怎么得到比较平整的断面呢

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24楼2016-03-31 12:57:07
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wuxueyan

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
液氮温度下就可以！

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顶顶顶顶顶
25楼2016-03-31 13:14:19
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小木虫8887

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
人家那图明显就是FIB做的啊
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没有路自己去走一条，没有鞋自己编一只
26楼2016-03-31 13:20:23
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我是益虫

金虫 (正式写手)
引用回帖:
21楼: Originally posted by 王龙权 at 2016-03-31 12:36:26
话说，你得基体材料是什么啊，不见得所有材料在液氮里都能脆断啊，如果是镀膜一类的工艺，建议镀膜时考虑放一个硅片一期镀膜，然后可以轻松掰断，液氮里貌似更好掰断，可以清晰的观察，我曾经做过12层膜，就是这么干 ...

我的基底是玻璃，然后用旋涂法在上面制备三层有机薄膜。像旋涂的话，依次就只能做一片，而且用硅片基底的话，成模性和硅片也不一样吧？
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27楼2016-03-31 17:18:53
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我是益虫

金虫 (正式写手)
引用回帖:
23楼: Originally posted by cha1234 at 2016-03-31 12:47:14
做DPA，然后SEM

DPA？具体是啥？
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28楼2016-03-31 17:19:39
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我是益虫

金虫 (正式写手)
引用回帖:
24楼: Originally posted by 王龙权 at 2016-03-31 12:57:07

这是？？
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29楼2016-03-31 17:19:54
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我是益虫

金虫 (正式写手)
引用回帖:
26楼: Originally posted by 小木虫8887 at 2016-03-31 13:20:23
人家那图明显就是FIB做的啊

反正看着很整齐，效果很好
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30楼2016-03-31 17:20:13
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