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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 重大装备 » 单位想做溅射靶材，我也是外行，大家能不能帮忙推荐一下做靶材用到的设备，定重谢！
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dirkjiayou

木虫 (小有名气)

[求助] 单位想做溅射靶材，我也是外行，大家能不能帮忙推荐一下做靶材用到的设备，定重谢！ 已有2人参与

单位想做溅射靶材，我也是外行，大家能不能帮忙推荐一下做靶材用到的设备，非常感谢！
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薄膜制备与特性

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1楼 2016-03-16 10:23:48
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

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感谢参与，应助指数 +1
dirkjiayou: 金币+50, ★★★很有帮助 2016-03-16 11:13:34
要看是做什么种类的靶材了。做金属的靶材，需要真空熔炼炉，或者真空烧结炉或氢气气氛烧结炉进行制坯；然后可能需要锻锤和轧机进行压力成形加工；接着需要真空退火炉进行靶材热处理；然后需要超声无损检测设备进行检测；需要扫描电镜、ICP 、激光粒度仪、费氏粒度仪、金相显微镜及其制样设备等进行化学成份分析、金相分析、粉末粒度分析甚至织构分析。然后还需要各种车铣磨床进行机加工；最后还需要绑定设备和真空无尘包装车间和设备进行靶材包装。非金属的靶材则需要相应的烧结炉。剩下的其他设备和金属靶材的相同。
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2楼2016-03-16 10:47:55
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
5楼: Originally posted by dirkjiayou at 2016-03-16 12:23:38
如果是这样的话，似乎直接进一台烧结炉更合算，金属靶和陶瓷靶都能做，可以这样简单理解吗？...

有些烧结炉的气氛不一样，不一定能够通用。比如，烧结钨钼的是真空或氢气气氛的最高2200度的烧结炉，而烧结ITO陶瓷靶材的是纯氧气气氛下1500度的烧结炉，而烧结AZO陶瓷的是大气气氛下的窑式连续式烧结炉。
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6楼2016-03-16 13:59:45
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

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dirkjiayou: 金币+50, ★★★很有帮助 2016-03-16 16:45:23
若是铝合金或铜合金靶材的话一般就采用真空熔炼与真空铸造的方式制坯了。而像钛合金的话目前一般就是真空电子束熔炼炉冶炼铸造制坯了。另外，钨钼旋转靶也有用热等静压烧结的或热挤压成型的，但一般的以锻造和轧制最为常见。
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7楼2016-03-16 14:03:34
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
11楼: Originally posted by dirkjiayou at 2016-03-18 14:11:45
前辈，我想问一下，陶瓷粉末烧结之前应该用什么设备成型？...

一般的陶瓷粉末烧结之前要进行造粒和成型，然后才能进行烧结。以烧结AZO靶材为例，可能需要喷雾干燥器、球磨机、压力机和钢模具、冷等静压机和橡胶模具等。而以ITO陶瓷靶材为例则可能需要石膏模具、浆料搅拌器等。
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12楼2016-03-18 14:26:30
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普通回帖

dirkjiayou

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2016-03-16 10:47:55
要看是做什么种类的靶材了。做金属的靶材，需要真空熔炼炉，或者真空烧结炉或氢气气氛烧结炉进行制坯；然后可能需要锻锤和轧机进行压力成形加工；接着需要真空退火炉进行靶材热处理；然后需要超声无损检测设备进行检 ...

请问，烧结炉也能做金属靶吗？
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3楼2016-03-16 11:15:34
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
3楼: Originally posted by dirkjiayou at 2016-03-16 11:15:34
请问，烧结炉也能做金属靶吗？...

难熔金属靶材如钨钼钽铌等一般都用烧结方法制坯而不用熔铸法制坯。一是熔点高且易氧化，对炉子的要求高，需要真空电子束熔炼设备；二是熔铸锭坯的晶粒太粗大，必须先用挤压法开坯，然后才能进行锻轧成型处理。
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4楼2016-03-16 11:24:14
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dirkjiayou

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by peterflyer at 2016-03-16 11:24:14
难熔金属靶材如钨钼钽铌等一般都用烧结方法制坯而不用熔铸法制坯。一是熔点高且易氧化，对炉子的要求高，需要真空电子束熔炼设备；二是熔铸锭坯的晶粒太粗大，必须先用挤压法开坯，然后才能进行锻轧成型处理。...

如果是这样的话，似乎直接进一台烧结炉更合算，金属靶和陶瓷靶都能做，可以这样简单理解吗？
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5楼2016-03-16 12:23:38
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typeter

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by peterflyer at 2016-03-16 14:03:34
若是铝合金或铜合金靶材的话一般就采用真空熔炼与真空铸造的方式制坯了。而像钛合金的话目前一般就是真空电子束熔炼炉冶炼铸造制坯了。另外，钨钼旋转靶也有用热等静压烧结的或热挤压成型的，但一般的以锻造和轧制最 ...

前辈  你到底专攻的什么专业的啊？  我天  太专业了！  我同事前期做透明陶瓷你也能回答！666
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求知
8楼2016-03-17 11:09:10
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cyg376116

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2016-03-16 10:47:55
要看是做什么种类的靶材了。做金属的靶材，需要真空熔炼炉，或者真空烧结炉或氢气气氛烧结炉进行制坯；然后可能需要锻锤和轧机进行压力成形加工；接着需要真空退火炉进行靶材热处理；然后需要超声无损检测设备进行检 ...

基本说的很全了！！敢问楼主是哪地方的单位？
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其实你很好！
9楼2016-03-17 13:39:22
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dirkjiayou

木虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by cyg376116 at 2016-03-17 13:39:22
基本说的很全了！！敢问楼主是哪地方的单位？...

我在昆明一家新材料公司工作！
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10楼2016-03-17 15:24:30
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