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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 重大装备 » 单位想做溅射靶材，我也是外行，大家能不能帮忙推荐一下做靶材用到的设备，定重谢！
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dirkjiayou

木虫 (小有名气)

[求助] 单位想做溅射靶材，我也是外行，大家能不能帮忙推荐一下做靶材用到的设备，定重谢！ 已有2人参与

单位想做溅射靶材，我也是外行，大家能不能帮忙推荐一下做靶材用到的设备，非常感谢！
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薄膜制备与特性

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1楼 2016-03-16 10:23:48
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dirkjiayou

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by peterflyer at 2016-03-16 11:24:14
难熔金属靶材如钨钼钽铌等一般都用烧结方法制坯而不用熔铸法制坯。一是熔点高且易氧化，对炉子的要求高，需要真空电子束熔炼设备；二是熔铸锭坯的晶粒太粗大，必须先用挤压法开坯，然后才能进行锻轧成型处理。...

如果是这样的话，似乎直接进一台烧结炉更合算，金属靶和陶瓷靶都能做，可以这样简单理解吗？
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5楼2016-03-16 12:23:38
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
dirkjiayou: 金币+50, ★★★很有帮助 2016-03-16 11:13:34
要看是做什么种类的靶材了。做金属的靶材，需要真空熔炼炉，或者真空烧结炉或氢气气氛烧结炉进行制坯；然后可能需要锻锤和轧机进行压力成形加工；接着需要真空退火炉进行靶材热处理；然后需要超声无损检测设备进行检测；需要扫描电镜、ICP 、激光粒度仪、费氏粒度仪、金相显微镜及其制样设备等进行化学成份分析、金相分析、粉末粒度分析甚至织构分析。然后还需要各种车铣磨床进行机加工；最后还需要绑定设备和真空无尘包装车间和设备进行靶材包装。非金属的靶材则需要相应的烧结炉。剩下的其他设备和金属靶材的相同。
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2楼2016-03-16 10:47:55
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dirkjiayou

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2016-03-16 10:47:55
要看是做什么种类的靶材了。做金属的靶材，需要真空熔炼炉，或者真空烧结炉或氢气气氛烧结炉进行制坯；然后可能需要锻锤和轧机进行压力成形加工；接着需要真空退火炉进行靶材热处理；然后需要超声无损检测设备进行检 ...

请问，烧结炉也能做金属靶吗？
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3楼2016-03-16 11:15:34
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
3楼: Originally posted by dirkjiayou at 2016-03-16 11:15:34
请问，烧结炉也能做金属靶吗？...

难熔金属靶材如钨钼钽铌等一般都用烧结方法制坯而不用熔铸法制坯。一是熔点高且易氧化，对炉子的要求高，需要真空电子束熔炼设备；二是熔铸锭坯的晶粒太粗大，必须先用挤压法开坯，然后才能进行锻轧成型处理。
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4楼2016-03-16 11:24:14
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