应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 重大装备 » 单位想做溅射靶材，我也是外行，大家能不能帮忙推荐一下做靶材用到的设备，定重谢！
汕头大学海洋科学接受调剂
51/1返回列表
查看: 4316  |  回复: 19
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

dirkjiayou

木虫 (小有名气)

[求助] 单位想做溅射靶材，我也是外行，大家能不能帮忙推荐一下做靶材用到的设备，定重谢！ 已有2人参与

单位想做溅射靶材，我也是外行，大家能不能帮忙推荐一下做靶材用到的设备，非常感谢！
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢
1楼 2016-03-16 10:23:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
3楼: Originally posted by dirkjiayou at 2016-03-16 11:15:34
请问，烧结炉也能做金属靶吗？...

难熔金属靶材如钨钼钽铌等一般都用烧结方法制坯而不用熔铸法制坯。一是熔点高且易氧化，对炉子的要求高，需要真空电子束熔炼设备；二是熔铸锭坯的晶粒太粗大，必须先用挤压法开坯，然后才能进行锻轧成型处理。
赞一下 回复此楼
4楼2016-03-16 11:24:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 20 个回答

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
dirkjiayou: 金币+50, ★★★很有帮助 2016-03-16 11:13:34
要看是做什么种类的靶材了。做金属的靶材，需要真空熔炼炉，或者真空烧结炉或氢气气氛烧结炉进行制坯；然后可能需要锻锤和轧机进行压力成形加工；接着需要真空退火炉进行靶材热处理；然后需要超声无损检测设备进行检测；需要扫描电镜、ICP 、激光粒度仪、费氏粒度仪、金相显微镜及其制样设备等进行化学成份分析、金相分析、粉末粒度分析甚至织构分析。然后还需要各种车铣磨床进行机加工；最后还需要绑定设备和真空无尘包装车间和设备进行靶材包装。非金属的靶材则需要相应的烧结炉。剩下的其他设备和金属靶材的相同。
赞一下(6人) 回复此楼
2楼2016-03-16 10:47:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dirkjiayou

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2016-03-16 10:47:55
要看是做什么种类的靶材了。做金属的靶材，需要真空熔炼炉，或者真空烧结炉或氢气气氛烧结炉进行制坯；然后可能需要锻锤和轧机进行压力成形加工；接着需要真空退火炉进行靶材热处理；然后需要超声无损检测设备进行检 ...

请问，烧结炉也能做金属靶吗？
赞一下 回复此楼
3楼2016-03-16 11:15:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dirkjiayou

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by peterflyer at 2016-03-16 11:24:14
难熔金属靶材如钨钼钽铌等一般都用烧结方法制坯而不用熔铸法制坯。一是熔点高且易氧化，对炉子的要求高，需要真空电子束熔炼设备；二是熔铸锭坯的晶粒太粗大，必须先用挤压法开坯，然后才能进行锻轧成型处理。...

如果是这样的话，似乎直接进一台烧结炉更合算，金属靶和陶瓷靶都能做，可以这样简单理解吗？
赞一下 回复此楼
5楼2016-03-16 12:23:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 20 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料工程281还有调剂机会吗 +43 xaw. 2026-04-11 44/2200 2026-04-15 12:46 by 西北望—风沙
[考研] 367求调剂 +11 hffQAQ 2026-04-09 11/550 2026-04-14 17:48 by lhj2009
[考研] 302分求调剂 +10 凡语祈愿 2026-04-08 11/550 2026-04-14 16:50 by jiangguiquan11
[考研] 297，工科调剂?河南农业大学本科 +9 河南农业大学-能 2026-04-14 9/450 2026-04-14 16:03 by Art1977
[教师之家] 转长聘了 +7 简单化xn 2026-04-13 7/350 2026-04-14 14:50 by xindong
[考研] 考研求调剂 +6 ban班小七 2026-04-11 6/300 2026-04-14 14:06 by 哆啦A梦只是个梦
[考研] 食品与营养（0955）271求调剂 +15 升格阿达 2026-04-12 16/800 2026-04-14 13:18 by 浮若_安生
[考研] 297工科，求调剂? +13 河南农业大学-能 2026-04-12 13/650 2026-04-13 14:12 by dingyanbo1
[考研] 290求调剂 +18 柯淮然 2026-04-12 20/1000 2026-04-13 12:56 by cyh—315
[考研] 一志愿0807 数一英一 313 有没有二轮调剂 +12 emokidd 2026-04-08 13/650 2026-04-13 08:32 by lhj2009
[考研] 331求调剂 +5 王国帅 2026-04-11 5/250 2026-04-11 22:56 by 溪涧流水
[考研] 297求调剂 +9 Kwgyz 2026-04-09 9/450 2026-04-11 10:09 by zhq0425
[考研] 309求调剂 +14 wdhw 2026-04-10 15/750 2026-04-10 21:06 by zhouxiaoyu
[考研] 284求调剂 +9 让我上岸吧阿西 2026-04-09 11/550 2026-04-10 19:18 by 靖jing
[考研] 材料专硕初试分332一志愿西北工业大学， +12 故人?? 2026-04-09 12/600 2026-04-09 18:34 by Ccclqqq
[考研] 一志愿中科院105500专业总分315求调剂 +6 lallalh 2026-04-09 7/350 2026-04-09 17:51 by lallalh
[考研] 083200 初试305分 求调剂 暂不考虑跨专业 +15 Claireyyyy 2026-04-09 15/750 2026-04-09 16:11 by zhuimr
[考研] 085801 总分275 本科新能源 求调剂 +8 bradoner 2026-04-08 9/450 2026-04-09 13:43 by only周
[考研] 334求调剂 +16 Riot2025 2026-04-08 17/850 2026-04-09 09:28 by wdyheheeh
[考研] 286求调剂 +19 Faune 2026-04-08 20/1000 2026-04-09 08:36 by 哦哦123
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭