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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 重大装备 » 单位想做溅射靶材，我也是外行，大家能不能帮忙推荐一下做靶材用到的设备，定重谢！
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dirkjiayou

木虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by peterflyer at 2016-03-16 13:59:45
有些烧结炉的气氛不一样，不一定能够通用。比如，烧结钨钼的是真空或氢气气氛的最高2200度的烧结炉，而烧结ITO陶瓷靶材的是纯氧气气氛下1500度的烧结炉，而烧结AZO陶瓷的是大气气氛下的窑式连续式烧结炉。...

前辈，我想问一下，陶瓷粉末烧结之前应该用什么设备成型？
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11楼2016-03-18 14:11:45
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
11楼: Originally posted by dirkjiayou at 2016-03-18 14:11:45
前辈，我想问一下，陶瓷粉末烧结之前应该用什么设备成型？...

一般的陶瓷粉末烧结之前要进行造粒和成型，然后才能进行烧结。以烧结AZO靶材为例，可能需要喷雾干燥器、球磨机、压力机和钢模具、冷等静压机和橡胶模具等。而以ITO陶瓷靶材为例则可能需要石膏模具、浆料搅拌器等。
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12楼2016-03-18 14:26:30
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dirkjiayou

木虫 (小有名气)
引用回帖:
12楼: Originally posted by peterflyer at 2016-03-18 14:26:30
一般的陶瓷粉末烧结之前要进行造粒和成型，然后才能进行烧结。以烧结AZO靶材为例，可能需要喷雾干燥器、球磨机、压力机和钢模具、冷等静压机和橡胶模具等。而以ITO陶瓷靶材为例则可能需要石膏模具、浆料搅拌器等。...

谢谢你，很有参考价值！
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13楼2016-03-18 16:47:28
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
13楼: Originally posted by dirkjiayou at 2016-03-18 16:47:28
谢谢你，很有参考价值！...

阁下是那个单位的，能透露一下吗？
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14楼2016-03-18 16:51:17
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athuakai

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我是做喷涂靶的，等离子喷涂
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15楼2016-03-18 20:47:25
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dirkjiayou

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2016-03-16 10:47:55
要看是做什么种类的靶材了。做金属的靶材，需要真空熔炼炉，或者真空烧结炉或氢气气氛烧结炉进行制坯；然后可能需要锻锤和轧机进行压力成形加工；接着需要真空退火炉进行靶材热处理；然后需要超声无损检测设备进行检 ...

大神，用真空熔炼炉制备的金属或者合金靶材会不会存在气泡或者其它较明显的缺陷？应该怎样避免？
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16楼2016-03-23 10:29:04
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
16楼: Originally posted by dirkjiayou at 2016-03-23 10:29:04
大神，用真空熔炼炉制备的金属或者合金靶材会不会存在气泡或者其它较明显的缺陷？应该怎样避免？...

别的金属我不太清楚，但铝合金我们搞过，搞不好的话完全会在铸锭中存在气泡或者夹杂、疏松之类的缺陷。加强电磁搅拌，陶瓷网过滤夹杂等措施应该可以大幅度减小缺陷的影响。
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17楼2016-03-23 10:52:33
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dirkjiayou

木虫 (小有名气)
引用回帖:
17楼: Originally posted by peterflyer at 2016-03-23 10:52:33
别的金属我不太清楚，但铝合金我们搞过，搞不好的话完全会在铸锭中存在气泡或者夹杂、疏松之类的缺陷。加强电磁搅拌，陶瓷网过滤夹杂等措施应该可以大幅度减小缺陷的影响。...

加强电磁搅拌在气氛炉中能实现吗？怎么实现？
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18楼2016-03-23 13:09:48
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靶材邦定

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
1楼: Originally posted by dirkjiayou at 2016-03-16 10:23:48
单位想做溅射靶材，我也是外行，大家能不能帮忙推荐一下做靶材用到的设备，非常感谢！

本人从事靶材生产多年有兴趣私我

发自小木虫Android客户端
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19楼2016-10-06 01:09:32
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cappu0210

禁虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
20楼2016-11-28 11:09:35
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