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dirkjiayou木虫 (小有名气)
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单位想做溅射靶材，我也是外行，大家能不能帮忙推荐一下做靶材用到的设备，定重谢！ 已有2人参与
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dirkjiayou
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18楼2016-03-23 13:09:48
peterflyer 
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【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
dirkjiayou: 金币+50, ★★★很有帮助 2016-03-16 11:13:34
感谢参与，应助指数 +1
dirkjiayou: 金币+50, ★★★很有帮助 2016-03-16 11:13:34
| 要看是做什么种类的靶材了。做金属的靶材，需要真空熔炼炉，或者真空烧结炉或氢气气氛烧结炉进行制坯；然后可能需要锻锤和轧机进行压力成形加工；接着需要真空退火炉进行靶材热处理；然后需要超声无损检测设备进行检测；需要扫描电镜、ICP 、激光粒度仪、费氏粒度仪、金相显微镜及其制样设备等进行化学成份分析、金相分析、粉末粒度分析甚至织构分析。然后还需要各种车铣磨床进行机加工；最后还需要绑定设备和真空无尘包装车间和设备进行靶材包装。非金属的靶材则需要相应的烧结炉。剩下的其他设备和金属靶材的相同。 |
2楼2016-03-16 10:47:55
dirkjiayou
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3楼2016-03-16 11:15:34
peterflyer
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4楼2016-03-16 11:24:14